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Hitachi

日立高新技术在中国

激光加工设备

本设备使用激光,直接在用于触控屏面板的功能性薄膜的透明导电膜或取出电极上形成电路。
推荐使用网络工艺,以减少生产成本,并能够灵活地应对各种模式。

特点

适应多种波段,工艺适应性强

可选择紫外线355nm、可见光532nm、近红外线1064nm等波段
以研发用途为中心,可根据工件的吸收波长选择对应波段

通过高速控制激光脉冲,实现均匀加工

通过等速控制,稳定脉冲能量及脉冲间隔
使用自主研发的第一脉冲控制实现快速发射

窄脉冲宽度减少发热影响

小巧的YVO4激光可以以10nsec的脉冲宽度发射,减少了对基材的影响以及损伤。

200mm×200mm范围内的高精度图案形成

数字编码器型振镜扫描器实现高精度的定位
三维控制排除了光学像差,同时兼顾广范围的扫描区域与微小的目标。

激光振荡器 Diode pumped Nd:YVO4 Laser
激光波长 1064nm、532nm or 355nmc
适合工件 50mm x 50mm ~ 300mm×300mm
设备尺寸 W 1,500mm × L 1,200mm × H 2,300mm
扫描速度 Max、41000mm/s
光束形状 Circle or Square

激光振荡器 Diode pumped Nd:YVO4 Laser
Diode pumped Yb:Fiber Laser
激光波长 1064nm、532nm or 355nm
适合工件尺寸 ~G5
设备尺寸 W 4,000mm× L 4,000mm× H 2,400mm
操作台
定位精度
<±30um
扫描速度 Max、1000mm/s
光头数 ~ 12 Heads

加工实例


透明电极 ITO薄膜的图案形成
加工线宽 20µm


取出电极 Ag糊剂的图案形成
加工线宽25µm

应用实例

玻璃膜基板或基材上各种电极的激光图案形成

ITO、银纳米线、CNT等透明导电膜或银糊剂等导电糊剂电极


透明导电膜
(电容式触控面板)


电容式触控面板的银糊剂引出电极

膜材激光切割

可对多种薄膜材料进行热影响得到有效控制的高质量加工。


COP膜


TAC膜


PET膜

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