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Hitachi

日立ハイテクフィールディング

回収対象装置:HF-2000 & HD-2000/2300日立透過電子顕微鏡
使用回収機器:小型SF6コンバス回収装置(日立酸素(現:大陽日酸株式会社)製)

概要

地球温暖化の原因となる温室効果ガスとしてCO2をはじめとする六種類のガスが京都議定書で指定されています。しかしこれらのガスは日常生活に伴い発生したり、優れた特性により設備や装置の運転に欠くことのできないものとしても広く知られています。当社では、日頃より環境の保護=地球温暖化防止を推進されているお客様への一助として、優れた絶縁ガスである一方で温室効果ガスの一種でもあるSF6について、装置の運用に伴い放出されるガスを回収する業務に取り組んでいます。

技術的特長

  • 従来、FEチップ交換の度、80リットル以上のSF6ガス(CO2換算:1,776m3=3.5ton)を大気放出していましたが本回収装置により、その99%が回収可能となります。
  • 当社技術者による一環した作業の中で、安全に回収することができます。

概念図

温室効果ガスによる地球温暖化メカニズム

温室効果ガスによる地球温暖化メカニズム
出典:栃木県ホームページ 地球環境の保全に貢献する社会づくり
http://www.pref.tochigi.lg.jp/kankyoseisaku/home/keikaku/archive/hakusyo/h15gaiyou/31.html
(参照 2016/06/30)

主な温室効果ガス

主な温室効果ガス
温室効果ガス 地球温暖化係数 性質 用途、排出源
二酸化炭素(CO2 1 代表的な温室効果ガス 化石燃料の燃焼など。
メタン(CH4 25 天然ガスの主成分で、常温で気体。よく燃える。 稲作、家畜の腸内発酵、廃棄物の埋め立てなど。
一酸化二窒素(N2O) 298 数ある窒素酸化物の中で最も安定した物質。他の窒素酸化物(例えば二酸化窒素)などのような害はない。 燃料の燃焼、工業プロセスなど。
HFCS(ハイドロフルオロカーボン類) 1,430など 塩素がなく、オゾン層を破壊しないフロン。強力な温室効果ガス。 スプレー、エアコンや冷蔵庫などの冷媒、化学物質の製造プロセスなど。
PFCs(パーフルオロカーボン類) 7,390など 炭素とフッ素だけからなるフロン。強力な温室効果ガス。 半導体の製造プロセスなど。
SF6(六フッ化硫黄) 22,800 硫黄とフッ素だけからなるフロンの仲間。強力な温室効果ガス。 電気の絶縁体など。
NF3(三フッ化窒素) 17,200 窒素とフッ素だけからなるフロンの仲間。強力な温室効果ガス。 半導体の製造プロセスなど。
  • 出典:JCCCA."温室効果ガスの特徴"全国地球温暖化防止活動推進センターホームページ
    http://www.jccca.org/chart/chart01_02.html(参照:2016/06/30)

回収SF6ガスのその後

  • ガスバッグに回収したSF6ガスは大陽日酸株式会社へ送ります。同社はそれをSF6液化装置で1/150に減容化した後、SF6処理プラントで分解(原料化)処理し、最終的にはSF6の原料である(CaF2)に戻します。
  • お客様には処理後、“SF6ガス処理証明書”を発行いたします。

日立HD-2300外観
日立HD-2300外観

SF6ガス回収装置の操作パネル部
SF6ガス回収装置の操作パネル部

回収作業中
回収作業中の様子