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Hitachi

日立ハイテクフィールディング

EM ACE600は、FE-SEMとTEMのアプリケーション向けに、各種金属やカーボンを非常に薄く均質で粒状性の良い成膜をすることが出来ます。

可能な成膜方法:
スパッタリング、カーボンス蒸着、E-ビーム蒸着、グロー放電による親水化処理

価格:お問い合わせください

(製造元:ライカ マイクロシステムズ株式会社)

取扱会社:株式会社 日立ハイテクフィールディング

特長

  • 高い再現性
    水晶膜厚ユニットと自動制御の3軸可動の試料ステージなどを装備し、高度な自動成膜機構を有しています。
  • クリーニングのしやすさ
    フロント・ドア、ソース・シャッター、チャンバーの内部遮蔽ユニット、および蒸着源とステージは着脱可能で、高品質サンプルを前処理するための清浄環境を確実にします。
    コンパクト設計 小さな設置面積は、より有効に研究室スペースを活用いただけます。
  • 簡単操作
    直観的操作のタッチスクリーンを搭載。フロント・ドアは、快適なロック機能付きです。さらに、ターゲット交換はツール・レス、コネクタは、簡単なプッシュ操作で完了です。
  • カスタマイズ可能な多機能性
    ACE600の構成には、多様なニーズを満たす選択性があります。
  • クライオ・コーティング
    標準的な室温環境のコーティング装置に、オプションのクライオシステムを組み込むことが可能です。

仕様

項目内容
寸法 幅300×奥行き540×高さ640mm
重量 65kg

ご相談・お問い合わせ先

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