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Hitachi

日立ハイテクフィールディング

イオンエネルギーが可変の2つのサドルフィールド型イオン源を備え、速やかにミリングの結果が得られるイオンビームミリング装置です。
1台の卓上型装置でTEM、SEM、および光学顕微鏡の試料を作製できます。また、Leica EM RES102は、高エネルギーのミリングだけでなく、低いイオンエネルギーで極めて繊細な試料の処理にも使用可能です。

価格:お問い合わせください

(製造元:ライカ マイクロシステムズ株式会社)

取扱会社:株式会社 日立ハイテクフィールディング

特長

  1. 2つのイオンガンそれぞれが、ミリング角度を0°~90°の範囲で調整可能です。
  2. 高エネルギーから低エネルギーの試料ミリングが可能です。
  3. SEM、TEM、光学顕微鏡とさまざまなアプリケーションに対応する多様な試料ホルダーをご用意しています。
  4. 加工中の試料をCCDビデオカメラでリアルタイム観察(x8~x60)できます。
  5. プログラミング可能な自動ミリング機能を搭載しています。
  6. タッチパネルにより、簡単操作を実現しています。
  7. オプションで、LN2による試料ステージ冷却機能もご用意しています。

仕様

Leica ウルトラミクロトーム EM UC7 製品仕様 コントロールユニット(本体と別置き)
項目内容
イオンソース タイプ サドルフィールド型イオンソース(×2)
イオンエネルギー 1.0~10keV
ミリングレート Cu:40µm/h [@8KV、3mA1、ビーム角度15°]
Si:25µm/h [@8KV、3mA1、ビーム角度15°]
ミリング角 0~90°(最小設定値:0.1°)
※ミリング角度は使用するホルダーの種類によって異なります。
回転 0.6~10rpm
オッシレーション 360°迄(最小設定値:1°)
X(水平)方向移動 ±5mm(最小設定値:0.1mm)
傾斜 -120°~+210°
ポンプシステム ダイヤフラムポンプ/ターボポンプ
コントロールパネル タッチスクリーン式PC
スパッターテーブル ln-situコーディング TEM、SEM試料対応可能(オプション)
コンピュータ制御DCモータ 試料ホルダー制御、ミリング角度設定、ロードロック制御
照明 透過・反射方式
CCDカラービデオカメラ x8~x60モニター上倍率
終点検知 光学方式による自動終了(感度調整)
タイマー方式
ファラデーカップによる自動終了(オプション 光透過試料用)
試料冷却 液体窒素冷却ユニット(オプション LZ04052VN)
寸法/ユーティリティ 寸法 720mm(幅)×700mm(奥)×950mm(高)
重量 ~100kg
電源 90~260VAC、50Hz/60Hz、250W
ガス アルゴン(Ar)ガス(純度99.998%以上)
使用圧力:0.05MPa(0.5/cm2)、6.0mmチューブ使用

試料ホルダー


25mm径試料用冷却ホルダー


FIB試料クリーニングホルダー


スロープカッティングホルダー


TEM用クイッククランプホルダー


TEM用冷却試料ホルダー

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