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Hitachi

日立ハイテクフィールディング

停電および電源休止時にFE電子銃の真空排気を自動で継続します。

真空排気停止後に必要な電子銃のコンディショニングを不要とし、常に安定した動作状態を保つことができます*

停電時の電源切換えは自動で行います。コネクタ等の接続変更などの特別な操作は不要です。

取扱会社:株式会社 日立ハイテクフィールディング

仕様

項目内容
停電時の排気継続時間 24時間(1週間に1回)
10日間(3ヵ月以上間隔をいた場合)
バッテリ交換 2年に1回
寸法 250(縦)×410(横)×360(高さ)mm
切換え方式 装置本体から供給されているイオンポンプ駆動電源が切れると、本装置から駆動電圧を供給します。
設置環境 室温:15~25℃
湿度:60%以下
電源:単相AC100V、±10%、50/60Hz
*
本製品を使用した場合、停電時でも電子銃の真空度を維持できますが、SE-TIP、LMISの加熱は停止します。停電復帰後、SE-TIPおよびLMISのコンディショニングは必要となります。

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