ページの本文へ

Hitachi

日立ハイテクフィールディング

SEMの使用来歴と、装置状態の管理に!
ユーザ名とパスワードを入れてSEMを起動。いつ、だれが、どのような条件で使用したのかを管理します。

取扱会社:株式会社 日立ハイテクフィールディング

仕様

項目内容
管理数上限 ユーザ名: 1,000件,部署名: 100件
ログ項目 HV ON,加速電圧,エミッション電流,フラッシング強度,引き出し電圧,各真空度,ベーキング履歴,オプション使用状況,使用したホールダ,備考
記録行数 最大32,768行(数ヵ月分のログ)
PC,OS SEMディスプレイ部PCにインストールします。OSはWindows XPおよびWindows 7限定です。
対応機種 S-4700/S-4800/S-5500/S-5200/SU8000シリーズ

操作の流れ

ログオンウィンドウに、ユーザ名およびパスワード、試料ホールダ名を入れてログオンすると、SEMオペレーション画面が表示されます。その後の操作は、従来通りです。
管理者は、ログオンウィンドウから任意期間の来歴を表示できます。
テキストファイルへの出力も可能であり、別のPCに移してご利用になれます。

ご相談・お問い合わせ先

製品・サービスについてのご相談・お問い合わせは、サポート情報をご覧ください。