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Hitachi

日立ハイテクフィールディング

SEM使用来歴管理プログラム

SEMの使用来歴と、装置状態の管理に!
ユーザ名とパスワードを入れてSEMを起動。いつ、だれが、どのような条件で使用したのかを管理します。

取扱会社:株式会社 日立ハイテクフィールディング

特長

SEM使用来歴管理プログラム(Ver.3)の特長

SEMの使用来歴と、装置の状態を管理します。ユーザー名とパスワードを入れてSEMを起動することで、いつ、誰が、どのような条件で使用したかを管理することができます。

仕様

基本仕様

基本機能 インストール先 対象SEMの制御PC
主な機能 ①SEMを使用した来歴の保存、表示
②SEM稼動率の表示
③SEM予約の管理
来歴管理項目 ①SEMログオン・ログオフ
②HVオン・オフ
③SEM使用ユーザ情報
④SEM装置状態(加速電圧/エミッション電流/フラッシング強度/引き出し電圧/各真空度/ベーキング履歴/オプション使用状況/使用したホルダ/備考)
管理数上限 ユーザ名:1,000件/部署名:100件
記録行数 最大10,000行(数ヵ月分のログ*1
+バックアップファイル最大1,000,000行
対応機種 SU9000、SU8000シリーズ、S-5500、S-4800(Windows 7版)
価格 お問い合わせください
追加機能 管理PC インストール先 事務スペースなどにある、SEMとネットワークでつながるPC(お客様準備品)
対応OS Windows 7 Professional 32bit 日本語版
価格 お問い合わせください
操作PC インストール先 事務スペースなどにある、管理PCとネットワークでつながるPC(お客様準備品)
対応OS Windows 7 Professional 32bit 日本語版
追加ライセンス価格 お問い合わせください
*1
SEMの使用頻度、条件によって異なります。

適応事例

データを管理PCに格納する場合の構成例

*1
管理PCソフト(オプション)が必要。

ご相談・お問い合わせ先

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