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Hitachi

日立ハイテクフィールディング

SEMステージ自動案内システム ステージナビC

電子顕微鏡の観察で、時間を割かれていた視野探索を強力にサポート。もう迷子にさせません!

取扱会社:株式会社 日立ハイテクフィールディング

仕様

項目内容
外形寸法 光学ステージ: 240 (幅) × 270 (奥行) × 545 (高さ) mm
質量 光学ステージ: 20kg
試料台 Φ26,Φ50 校正用マーク付き試料台
位置精度 サンプル上で登録した位置と、実際に到達した位置の距離誤差が 150μm 以内
対応機種 S-4700 TypeII / S-4800 TypeII / SU8030 / SU8040 / SU6600 / SU-70

操作の流れ

サンプルを試料台にセットし、まずはカラー光学像で視野探索します。カラー像の利点は、色情報による視認性の良さです。ステージナビCは、光学像に座標情報をセットで記憶し、SEMステージをリモートコントロールすることで、SEMステージ上での視野探索の手間を軽減します。
これにより、視野探索時間は半分以下*に軽減され、画面を注視する時間も減りますので、目にも優しくなります。

*
当社エンジニアによる実験値


光学像


SEM像

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