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Hitachi

日立ハイテクフィールディング

半導体評価装置 予防保全対応

電子光学系、排気系、ステージ系、ローダー系、ミニエン搬送システム系など、お客様のニーズに合わせた保守メニューを豊富に取り揃えています。

取扱会社:株式会社 日立ハイテクフィールディング

対象装置

  • 日立半導体用SEM
    S-8820、S-8840、S-8C40、S-9200、S-9220、S-9260、S-9260A、S-9300、S-9360、S-9380、S-9380Ⅱ、CG4000、CG4100、CG4500、CG5000
  • 日立レビューSEM
    RS-3000、RS-4000、RS-5000、RS-5500、RS6000
  • 日立半導体プロセス評価SEM
    S-7800、S-7800H、S-7840
  • 日立ウェーハ表面検査装置
    LS6500、LS6600、LS6700、LS6800、LS9110
  • 日立暗視野式ウェーハ欠陥検査装置
    IS2500、IS2510、IS2600、IS2700、IS3000、IS3200
  • 日立マスク基板検査装置
    GM-1000、GM-1000A
  • 日立重ね合せ精度測定装置
    LA-3100、LA3200、LA3300
  • 日立光学式ウエーハ外観検査装置
    WI-890、SR-7200、SR-7300、SR-7350

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