半導体評価装置 オーバーホール対応
HVコントロールユニット、DC電源、電子銃アノード、ターボ分子ポンプユニット、回転アームユニット、搬送ロボットユニットなど、豊富なオーバーホールメニューを各種準備しています。
取扱会社：株式会社 日立ハイテクフィールディング
対象装置
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日立半導体用SEM
S-8820、S-8840、S-8C40、S-9200、S-9220、S-9260、S-9260A、S-9300、S-9360、S-9380、S-9380Ⅱ、CG4000、CG4100、CG4500、CG5000 -
日立レビューSEM
RS-3000、RS-4000、RS-5000、RS-5500、RS6000 -
日立半導体プロセス評価SEM
S-7800、S-7800H、S-7840
