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Hitachi

日立ハイテクフィールディング

エッチング装置の安定稼動には、予防保全(オーバーホール)が必要です。

処理工程上 反応性生成物(デポ物)による汚れが多く発生し、稼動時間とともにエッチング室内,排気ラインを主に装置内へ堆積が進行していきます。

反応性生成物の堆積は、異物増加をはじめ 真空リーク,プロセス性能の低下など さまざまなトラブルの要因となります。

取扱会社:株式会社 日立ハイテクフィールディング

メリット

  • 稼動率向上に貢献します
    装置の信頼性が上がり稼動率が向上します。
  • 個別契約よりお得です
    パッケージ料金は個別料金より割引料金となっています。
  • トラブル時に迅速に対応します
    装置のトラブル等、緊急時には優先してサービスエンジニアを派遣します。
  • 保守部品が早く届きます
    緊急部品や予備品の供給を優先的に行います。
  • 装置の延命が図れます
    定期的に点検、清掃、部品交換ができるため装置の延命が図れます。
  • お気軽にご相談ください
    改善計画等のご相談、技術コンサルタントの他、現地運転教育も承ります。
  • 最新情報が入手できます
    最新の技術情報、部品情報をご提供します。
  • 装置はいつもフレッシュ
    保守、点検履歴が保守来歴管理データベースにフィードバックされているため、部品交換実績、装置の稼動診断、予防保全等、装置安定稼動維持に役立ちます。

サービス内容

豊富なサービスメニューでお客様のご希望にお応えします

 フルサービス簡易サービス備考
定期点検 3ヵ月点検、6ヵ月点検および1年点検 6ヵ月点検、1年点検  
オーバーホール ご使用期間、ご使用頻度などによりメニューの中から選択 別途 使用来歴、保守来歴により最適メニュー推奨
オンコール 含む 別途 2回/月(最大)
交換部品供給 定期点検、オーバーホールのメニューに含む部品 簡易定期点検のメニューに含む部品 左記以外は個別精算
コンサルティングなど 技術コンサルティング、現地運転教育、技術情報の提供 技術情報の提供  

定期点検

定期点検の内容

 
 3ヵ月点検6ヵ月点検1年点検

作業内容

  • 2回/年
  • 搬送、真空、放電、各動作の確認・点検
  • 1回/年
  • 処理室および処理室排気系の清掃部品交換
  • 1回/年
  • 処理室、排気系、搬送系の分解、清掃、部品交換
 
それぞれの装置に適切な保守プログラムをご提案します。
 
サービス内容は、別途ご相談ください。

ご相談・お問い合わせ先

製品・サービスについてのご相談・お問い合わせは、サポート情報をご覧ください。