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Hitachi

日立ハイテクフィールディング

ペデスタルは、半導体製造装置の露光装置・計測装置・検査装置等の嫌振架台(除振架台)です。設置することで、振動の抑制と剛性の強化が可能になります。

取扱会社:株式会社 日立ハイテクフィールディング

特長と実績

  • ペデスタルは、鋼やコンクリートを用いて、サポートする機器の剛性と振動についての非常に高い要求を満たすように設計されています。
  • ペデスタル設置前後の振動と剛性測定を行い、データ解析を行います。
  • 溶接作業不要のため、短工期で梁の補強を行い床剛性の向上が可能です
  • クイーントラス(Queen Truss)の追加により、床の補強が可能です。
  • スリーパービーム(Sleeper Beam)の追加により、床面に合せた装置の高さ調整が可能です。
  • 国内で150台以上の半導体製造装置(露光装置)用ペデスタルの納入実績があります。
  • 大きさや形状(一体型、分割型)は、設置する装置に合わせてカスタマイズが可能ですので、お気軽にご相談ください。

ご相談・お問い合わせ先

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