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Hitachi

日立ハイテクフィールディング

XCDAピュリファイアーは、一次CDA(クリーンドライエア)をもとに、より清浄な空気に精製する装置です。半導体製造装置のほか、液晶、二次電池製造プロセス等の分野で汚染物質が除去されたドライエアが必要な装置に用いられます。

取扱会社:株式会社 日立ハイテクフィールディング

特長と仕様

  • 超高純度ガス精製方法を用い、H2O,有機物を吸着筒で室温吸着させドライエアを精製します。
  • 精製筒の再生は自動再生方式を採用、かつ複数筒並列精製式のため、精製と再生を同時に行うことで断続的な精製ドライエアを供給します。
  • 各種ピュリファイアーをご用意いたしますので、お気軽にご相談ください。
項目内容
最大ガス流量 125 [Nm3/h]
H2O <1 [ppb]
CO2 <100 [ppt]
TOC(as C7H8)、Acids(as SO2)、Bases(as NH3) <10 [ppt]
Refractory Compounds(as HMDSO) <10 [ppt]
パーティクルの大きさ 0.1 [µm]

ご相談・お問い合わせ先

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