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Hitachi

日立ハイテクフィールディング

精密空調機は、一般用空調設備では対処できない細かく制御された温度・湿度の空気を供給する装置です。 半導体製造装置のほか、温度や湿度に非常に敏感な電子機器等にも用いられます。

取扱会社:株式会社 日立ハイテクフィールディング

特長と仕様

  • 高精度なソース制御方式(ユ-スポイント制御方式にも対応可能)を採用しています。
  • 冷媒は、オゾン層を破壊しないR-407C(HFC系)を採用しています。
  • ISO クラス5(クラス100相当)までのクリ-ン度に対応しています。
  • 下記は仕様例です
  • カスタマイズに対応いたしますので、お気軽にご相談ください。
項目内容
供給風量能力 42~52 [m3/min]
温調範囲 20~25 [℃]
温度制御精度 <±0.08 [℃]
湿調範囲 40~50 [%RH]
湿度制御精度 <±0.5 [%RH]

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