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Hitachi

日立ハイテクフィールディング

UPW(Ultra Pure Water)ポッリシャは、一次純水を原水とし超純水を供給する装置です。半導体製造装置のほか、液晶や半導体素子を製造する電子工業、医薬品製造工場などで広く用いられます。

取扱会社:株式会社 日立ハイテクフィールディング

特長と仕様

  • 原水の水質、圧力, 流量、温度が変動した場合でも、装置に安定的に供給できるようにTOC(総有機物)、イオン、微粒子の分解、除去機能およびポンプ、自動弁による圧力、流量、温度の調整機能が備わっています。
  • TOC分解用のUVランプは、不点や照度低下を自動的に監視し、バックアップランプに切り替わる機能がついています。
  • 各種ポリッシャをご用意いたしますので、お気軽にご相談ください。
項目内容
最大UPW流量 9.0 [L/min]
抵抗率 >18.0 [MΩ・cm]
TOC <1 [ppb]
微粒子 <10 [個/ml]

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