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Hitachi

日立ハイテクフィールディング

ナノレベルを追求する回路のさらなる微細化やウェハの大口径化など、半導体製造技術の進化はとどまるところを知りません。私たちは、半導体製造装置や評価・検査装置システムを対象に、装置の稼動率維持と、製造プロセスに関する応用技術を提供し、さらには既存装置の改良保全までトータル的にサポートしています。

[主なサービス対象製品]
プラズマエッチング装置、イオンミリング装置、イオンビームスパッタ装置、アッシング装置など。

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