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Hitachi

日立ハイテクファインシステムズ

大型基板に対応した製品ラインナップ
1986年に液晶関連事業に参入して以来、国内外の液晶パネル製造メーカに製造・検査設備を納入しており、世界トップクラスの実績があります。
長年培ってきた技術と経験を活かした高精度なパネル検査・製造システムをお届けします。

ガラス基板検査装置 GI5400

中小型液晶、有機ELパネル製造工程での異物管理に対応したガラス基板検査装置(ガラス厚さ0.2mm検査可能)

当社独自の開発により薄板ガラスの高精度表裏分離検査が可能。
高信頼性による高検出感度、高速検査、高倍率異物観察を実現。パネル製造工程の異物の管理に最適。

特長

  • 薄板ガラス対応
    ガラス厚さ 0.2mm~0.7mm 最大ガラスサイズ 1300mm×1500mm
  • 高精度表裏分離検査
    表裏分離度 150倍 (表面φ0.3µm:裏面φ50.0µm 素ガラス厚さ0.7mm)
  • 高検出感度
    表面異物 φ0.3µm
  • 高速検査
    90秒/1300mm×1500mm(2ヘッド光学系 φ1.0µm高速モード)
  • TVモニタによる高倍率の異物観察が可能

大型ガラス基板露光装置 LE4000A

高スループットを実現したカラーフィルタガラス基板露光装置
カラーフィルタの大型ガラス基板に対応した量産ライン用の高速プロキシミティ露光装置。
独自に開発した高精度光学式アライメント、高速高精度プロキシミティギャップ制御を実現。高速、高精度、高信頼性を実現。

特長

  • 高処理速度
    18秒/枚(露光時間を除く)
  • 高解像度
  • オートアライメント、プロキシミティギャップ制御
  • 非接触プリアライメント
  • 対応基板サイズ
    最大400mm x 500mm
  • インライン化対応

大型ガラス基板露光装置 LE0200SD

高スループット(ダブルチャックステージ採用)を実現したカラーフィルターガラス基板露光装置
カラーフィルターの大型ガラス基板に対応した量産ライン用の高速プロキシミティ露光装置。
独自に開発した高精度画像認識アライメント、高速高精度プロキシミティギャップ制御を実現。高速、高精度、高信頼性を実現。

特長

  • 高処理速度
    30秒/枚(露光時間を除く)
  • 高解像度
  • オートアライメント、プロキシミティギャップ制御
  • 非接触プリアライメント
  • 対応基板サイズ:2,200mm × 2,500mm
  • インライン化対応