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Hitachi

日立ハイテクサイエンス

走査型プローブ顕微鏡(SPM/AFM)

プローブと試料間に作用する様々な物理量を検出し、微小領域の表面形状や物性を測定する走査型プローブ顕微鏡(SPM/AFM)は、有機・高分子、半導体・エレクトロニクス、無機材料、金属・誘電体・磁性体、生体など、幅広い分野で利用されています。

アプリケーションデータ

走査型プローブ顕微鏡(SPM/AFM)のアプリケーション(測定事例)を紹介しています。

分野別

モード別

走査型プローブ顕微鏡スクール

当社主催の走査型プローブ顕微鏡スクールのご案内です。SPM/AFMの概要、測定原理から実機の操作方法といったを中心にした、初心者の方に最適な内容です。

製品ユーザー向け情報

当社の走査型プローブ顕微鏡をお使いのお客様向けの情報です。

カンチレバー一覧

推奨カンチレバーの一覧と操作ガイドです。

保守・サービス

装置の保守・サービス会社である株式会社エポリードサービスのサイトへジャンプします。

会員制サイト

当社装置をお使いのユーザー様向けに、アプリケーションデータをはじめ各種情報をご提供しています。

生産終了製品のご案内

生産を終了した製品一覧と、消耗品・修理部品の保有期限の一覧です。

テクニカルサポート

走査型プローブ顕微鏡(SPM/AFM)に関連する最新情報 をご提供しています。

中型プローブ顕微鏡システムAFM5500Mのご紹介

原理解説

AFMの基本モードから様々な物性を測定する多機能モードまでの原理と解説です。

スペシャルコンテンツ

AFMに関する最新トピックをまとめました。

測定困難な測定を解決するSISモード
凹凸や吸着が大きな試料や軟らかい試料などの安定した測定を可能にする "SISモード" をご紹介します。
なぜ、真空中のAFM観察は有効なのか
吸着水やガス分子の影響を排除した真空環境におけるAFM観察の有効性について紹介します。
SEM-AFMコリレーションデータ "SÆmic."
SEMとAFMのコラボレーションによる新たなソリューション事例をご紹介します。

SPMデータギャラリー

走査型プローブ顕微鏡の測定事例をギャラリー形式でご紹介しています。

SPM用語集

AFMでよく用いられる略語や装置構成に関する用語などをわかりやすく解説しています。

SPMの歴史

AFMの歴史と当社のSPM装置変遷をご紹介します。

参考文献・発表リスト

AFMについての参考文献・発表をまとめています。