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Hitachi

日立ハイテクサイエンス

低エネルギーイオン散乱分光装置(LEIS) Qtac100

低エネルギーイオン散乱分光法は数keV程度の低エネルギーのイオンを用いる表面最近傍に極めて敏感でかつ元素分析と構造解析が同時にリアルタイム観測できる手法です。
ユニークな静電アナライザにより、全方位の散乱イオンを同時に計測することで、既存のLEISに比べ約3000倍の感度を実現しました。

価格:お問い合わせください

取扱会社:株式会社日立ハイテクサイエンス

特長

  • 最表層原子の定性、定量が可能
  • 360°全方位のイオンを取り込み
  • 入射イオンは同軸垂直入射
  • 帯電補償システムを内蔵

仕様

仕様
項目仕様
水平方向分解能 10µm~500µm (5µm:オプション)
質量分解能 63Cu/65Cu 分離可能
絶縁試料 分析可能
イオンドーズ量 <1×1013 3He/cm2
単層膜の感度 Li-O few%-1%
K-U 0.02%-0.001%
F-Cl 1%-0.05%
分析用イオン He、Ne、Ar、Kr

オプション

  • 加熱/冷却機構
  • サンプルクリーニング用プラズマ発生器
  • 高空間分解能用イオンソース(5-10µm)
  • その他

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