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Hitachi

日立ハイテクサイエンス

飛行時間型二次イオン質量分析計(TOF-SIMS) TOF.SIMS5

TOF-SIMSはきわめて高感度な表面分析手法として、多くの産業分野および研究用途でその手法が確立されています。表面、薄膜、界面における元素および分子に関する詳細な情報を得ることができ、試料の3次元分析も可能です。TOF-SIMSのアプリケーションは、半導体、高分子材料、塗料、被膜、ガラス、製紙、金属、セラミック、生体材料、薬品など、幅広い分野にわたっています。
当社では(独)ION-TOF社の国内総代理店として、質の高いサービスと最新の技術を提供しています。

価格:お問い合わせください

取扱会社:株式会社日立ハイテクサイエンス

特長

  • Biをはじめ新しいクラスターイオンソースにより、超高感度と高スループットを実現
  • 低エネルギースパッタにより深さ方向分析においても抜群のパフォーマンス
  • モジュラー構造によりアップグレードに対応できる高いフレキシビリティ
  • 省スペースで人間工学に基づいたコンパクトデザイン

仕様

  • Biクラスターイオン銃
    • 高質量分解能パルス圧縮モード:最小スポット径600nm
    • 高空間分解能モード:最小スポット径120nm
    • バーストモード:質量分解能と空間分解能を両立
  • リフレクトロンアナライザ
  • 5軸モーター駆動試料ステージ
  • 自己補償型帯電補正機能
  • 低/高倍試料観察カメラ
  • µm2からcm2まで測定可能
  • 深さ分解能 : 1nm 以下
  • 質量分解能>11,000 @29u (FWHM)
  • 統合ソフトウェア(SurfaceLab6)

オプション

  • 最大試料サイズ100mm、200mm、300mm
  • スパッタリング銃
  • Arガスクラスタースパッタリング銃(一次イオンオプション)
  • 試料加熱、冷却機構および専用サンプルホルダー
  • 係数補間(EDR)機能
    * Extended Dynamic Range
  • 雰囲気遮断サンプル導入システム
  • プレパレーションチャンバー/グローブBOX対応チャンバー
  • その他

アプリケーションデータ

測定例

  • シリコンウェハー表面のスペクトル
  • 潤滑剤のスペクトル
  • ハードディスクヘッド
  • 動物の脳細胞
  • 添加剤のブルーミング効果
  • シリコンの深さ方向分析
  • 多層コーティングの深さ方向分析
  • ガスクラスター銃スパッタによる深さ方向分析
  • TFTディスプレイの3D画像

サービス・サポート情報

デモルーム

  • サイエンスソリューションラボ東京
    東京都中央区新富2-10-15 RBM築地ビル
    地図

サービス・消耗品の窓口

株式会社日立ハイテクサイエンス
サービス事業本部
電話番号:0120-513-522

導入例

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