電子デバイス
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電子デバイスに関する分析事例を掲載しています。
電子デバイス アプリケーションブリーフ
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| 走査型プローブ顕微鏡（SPM/AFM) | ||
|---|---|---|
| SPI No.69 | 垂直磁気異方性を有する高周波軟磁性膜の 高分解能MFM観察 |
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| SPI No.50 | MFM analysis of magnetization process in CoPt dot-array | |
| SPI No.36 | SPMによる強誘電体薄膜への記録再生 | |
| SPI No.32 | 大型ステージユニットSPA500による ハードディスクの磁気力顕微鏡（MFM）測定 |
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| SPI No.31 | 大型ステージユニットSPA500による GMRヘッドの磁気力顕微鏡（MFM）測定 |
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| SPI No.22 | ダブルコーティング・ビデオテープのMFM観察 | |
| SPI No.08 | Siウェハ上のCOP・異物観察 | |
| SPI No.07 | シリコン単原子ステップの観察 | |
| NPX No.25 | 原子間力顕微鏡（AFM）と電子顕微鏡（SEM）の 画像の比較Ⅰ（Nanopics） |
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| NPX No.24 | 液晶配向膜成膜条件の評価（Nanopics） | |
| NPX No.23 | 高性能ポリイミドフィルムの表面処理評価（Nanopics） | |
| NPX No.21 | Pbフリー半田めっきの表面粗さ（Nanopics） | |
| NPX No.19 | 液晶ディスプレイ製作工程評価（Nanopics） | |
| NPX No.08 | アルミニウム基盤の研磨処理（Nanopics） | |
| NPX No.07 | ボンディング不良電極端子めっき表面の形状評価（Nanopics） | |
| NPX No.06 | 液晶パネル用ガラス（Nanopics） | |
| NPX No.05 | サーマルプリンタヘッドと用紙（Nanopics） | |
| NPX No.04 | ポリイミドフィルムの表面処理評価（Nanopics） | |
| 蛍光X線膜厚計 | ||
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| SFT No.29 | SFT9500における極薄膜Auめっきの測定事例の紹介 | |
| ICP分析 | ||
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| ICP No.39 | ICP発光分光分析法による固体試料直接分析法 （レーザーアブレーションによる分析） |
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| ICP No.19 | ICP発光分光分析法によるサマリウム－コバルト 磁性体の分析 |
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| ICP-MS No.17 | SPQ9600/9700のクールプラズマ条件による 微量濃度の測定 |
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| 集束イオンビーム | ||
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| SMI No.09 | ArBIDを用いたフォトレジストの試料作製と観察 | |
| SMI No.03 | 最新デバイスのSIM像断面 | |
| SMI No.01 | EガスとAutoBitmapソフトウェアを用いたLSI平坦化加工テクニック | |
| FIB No.06 | 低加速モード加工 | |
| FIB No.05 | 高倍率の観察 | |
| FIB No.04 | マルチガスシステムの応用 | |
| FIB No.03 | TEM試料作製 | |
