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Hitachi

日立仪器(上海)有限公司

X射线荧光镀层厚度测量仪 FT110系列

1.即放即测! 2.10秒钟完成50nm的极薄金镀层测量! 3.可无标样测量! 4.通过样品整体图像更方便选择测量位置!

特长

1. 通过自动定位功能提高操作性

测量样品时,以往需花费约10秒的样品对焦,现在3秒内即可完成,大大提高样品定位的操作性。

2. 微区膜厚测量精度提高

通过缩小与样品间的距离等,致使在微小准直器(0.1、0.2mm)下,也能够大幅度提高膜厚测量的精度。

3. 多达5层的多镀层测量

使用薄膜FP法软件,即使没有厚度标准片也可进行多达5层10元素的多镀层测量。

4. 广域观察系统(选配)

可从最大250×200mm的样品整体图像指定测量位置。

5. 对应大型印刷线路板(选配)

可对600×600mm的大型印刷线路板进行测量。

6. 低价位

与以往机型相比,既提高了功能性又降低20%以上的价格。

规格

产品规格
型号FT110
测量元素 原子序号Ti(22)~Bi(83)
X射线源 空冷式小型X射线管
管电压:50(可变更)kV
管电流:10~1000µA
检测器 比例计数管
准直器 ○型: 0.1 mmΦ、0.2 mmΦ 他2種
样品观察 CCD摄像头
对焦 激光对焦(自动)
滤波器 一次滤波器(自动切换)
样品区域 [固定]535×530 mm
[电动] 260×210 mm (移动量X:250 mm, Y:200 mm)
测量软件 薄膜FP法(最大2层、10种元素)、检量线法
安全功能 样品室门联锁、样品冲突防止功能、仪器诊断功能

选购项

  • 图像处理软件
  • 块体FP软件(材料组成分析)
  • 块体检量线软件(电镀液分析)

应用数据

介绍膜厚度测量装置的测量实例。

「日立高新科技标志」的说明

介绍以科技领域领军者为目标的日立高新技术科学集团的象征标志。

通过电话咨询

日立仪器(上海)有限公司
市场企划课
电话:021-50273533

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