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日立仪器(上海)有限公司

X射线荧光镀层厚度测量仪FT150 FT150系列

使用新开发的X射线聚光用多毛细管的产品阵容诞生了。另外,以X射线检测结构为中心,对各类元件进行最佳优化,从而大幅提高了检测灵敏度,在不损失检测精度的前提下实现了的高处理能力。并且,对设备进行了重新设计,使得样本室的使用,以及对检测点的检查变得更为容易。

顶部照射 变焦 高精度工作台 LF 薄膜FP 聚光 H-I照明 显微领域

特长

1.显微领域的高精度检测

通过采用新开发的多毛细管,以及对探测器的优化,在实现照射半径等同于旧有型号FT9500X为30 μm(设想FWHM: 17 μm)的基础上,进一步将处理能力提高到了2倍以上。

2.产品阵容适应各类检测样本

针对检测样本的不同种类,可在下列3种型号中进行选择。

  • 测量引线架、连接器等各类电子元器件的微型部件、超薄薄膜的型号
  • 能够处理尺寸为600 mm×600 mm的大型印刷电路板的大型印刷电路板用型号
  • 适合对陶瓷芯片电极部分中,过去难以同时测量的Sn/Ni两层进行高能测量的型号

3.兼顾易操作性与安全性

放大了开口,同时样本室的门也可单手轻松开闭。从而提高了取出、放入检测样本的操作简便性,并且该密封结构也大大减少了X射线泄漏的风险,让用户放心使用。

4.检测部位可见

通过设置大型观察窗、修改部件布局,使得样本室门在关闭状态下亦可方便地观察检测部位。

5.清晰的样本图像

使用了分辨率比以往更高的样本观察摄像头,采用全数码变焦,从而消除位置偏差,可以清晰地观察数十μm的微小样本。
另外,亦采用LED作为样本观察灯,无需像以往的机型那样对灯泡进行更换。

6.新GUI

  • 将各类检测方法、检测样本都以应用程序图标的形式进行了登记。图标皆为检测样本的照片、多层膜的图示等,因此登记、整理起来就很方便,从而使得用户可以不走弯路,直接进行检测。
  • 使用检测向导窗口来指导操作。通过与检测画面联动,逐步引导用户执行当前所需进行的工作。

从左边开始、启动画面 ・易于操作的开口部 ・大开口的样本室门・高灵敏度(Au光谱图示)

规格

规格
型号FT150(标准型)FT150h(高能量型)FT150L(大型线路板对应)
测量元素 原子序数13(Al)~92(U)
X射线源 管电压:45 kV
Mo靶 W靶 Mo靶
检测器 Si半导体检测器(SDD)(无需液氮)
X射线聚光 聚光导管方式
样品观察 CCD摄像头(100万像素)
对焦 激光对焦、自动对焦
最大样品尺寸 400(W) × 300(D) × 100(H) mm 400(W) × 300(D) × 100(H) mm 600(W) × 600(D) × 20(H) mm
工作台行程 400(W) × 300(D) mm 400(W) × 300(D) mm 300(W) × 300(D) mm
操作系统 电脑、22英寸液晶显示屏
测量软件 薄膜FP法(最多5层膜、10元素)、检量线法、定性分析
数据处理 Microsoft Excel、Microsoft Word 安装
安全功能 样品门联锁
消耗电量 300 VA以下

选购项

  • 能谱匹配软件(材料辨别)
  • 块体FP(测量金属成分比)
  • 样品操作限制设置
  • 晶圆治具(FT150/FT150h)
  • 触摸板
  • 信号灯
  • 打印机
  • 紧急停止开关箱

高性能X射线荧光镀层厚度测量仪 FT150系列

FT150利用多毛细管所产生的照射直径为30 µm的高强度X射线光束,最适于导线架、微小连接器、柔性电路板等微小零件及超薄镀层的高精度分析评价。

高性能X射线荧光镀层厚度测量仪 FT150系列

应用数据

介绍膜厚度测量装置的测量实例。

「日立高新科技标志」的说明

介绍以科技领域领军者为目标的日立高新技术科学集团的象征标志。

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日立仪器(上海)有限公司
市场企划课
电话:021-50273533

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