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Hitachi

日立仪器(上海)有限公司

具有快速扫描功能的X射线荧光分析仪 EA6000VX

使用具有快速扫描功能的EA6000VX ,无需拆分样品即可测量特定部位的微小区域以及对整张线路板的有害物质进行管理,可对应以往机型难以对应的要求。
以下链接是EA6000VX的特点。

EA6000VX的特长

EA6000VX创造出的扫描新世界

异物扫描分析

以往的异物分析是靠肉眼或者显微镜确认比较大的异物,然后通过照射微小的光斑进行元素分析。

而EA6000VX以其高灵敏度和快速扫描功能,对样品进行全面快速的扫描,能检测出数十 µm以下的异物。

异物扫描分析案例

  • 铁氧体粉末中的异物分析
  • 封装产品中的异物分析
  • 钻石工具中的金属异物分析

Pb1000 ppm扫描

通过重复扫描,用*三十分钟即可对Pb(1000 ppm)进行扫描分析。通过重复扫描,可进行低浓度元素的二维扫描,以往的机型即使耗费大量时间,也是非常困难的。

*
下面测量事例的情况下所需要的时间。条件不同,所需时间也不同。

测量事例

  • 无铅线路板的扫描
  • 扫描范围: 60 mm x 60 mm
  • 使用光束大小: □1.2 mm
  • 扫描次数: 16次
  • 一点的测量时间: 8 ms
  • 所需要的时间: 30分钟

透视扫描功能

对笔记本电脑和手机等由于属于包装部件而无法知道内部构造的产品,无需拆分即可得到其内部线路板上的铅等各种元素的扫描图像。通过对X射线照射所得到的元素扫描图像的比较,可获得内部的部件和构造等各种信息。

与以往机型相比,通过透视扫描功能即使不拆分产品,也能简单地检查是否含有目标元素。 (已申请专利)

区域计算能谱功能

可通过指定扫描图像的任意区域来显示出累计能谱。因为每个像素都含有能谱信息。仅扫描图像难以进行判断时可通过确认能谱来判断它含有的元素,也可进行简单的浓度计算。

对应各种要求的微小区域、高灵敏度测量

连续多点测量

最多可指定500个测量位置进行自动多点连续测量。在测量大量的样品时可发挥高效率。

最多500个样品自动测量功能让操作更省力。

RoHS分析例子

通过使用微小X射线光束,对复合样品也可进行特定部位的测量。

CU合金中的Cd分析案例

导线材料中的Cd分析案例

快速扫描微小区域的微量金属

可在短时间内测量微小区域中的微量金属和薄膜。

黄铜中Cd,Pb,Cr Sn中Pb 塑料中Cd,Pb,Hg,Br,Cr
3 mm 80 sec 40 sec 70 sec
1.2 mm 150 sec 40 sec 80 awc

Cd 为30 ppm,其它元素为200 ppm检测下限时的测量时间。

电路板中氯浓度的测量

针对无卤化测量的需求,即使是微小区域中的Cl、Br的测量也实现了高灵敏度。另外,由于采用上方照射的方式,即使对于凹凸不平的印刷线路板,也可精确地指定测量位置。

微小区域膜厚测量

EA6000VX也可对应FT系列公认的镀层膜厚测量。极薄Au镀层等的膜厚测量自不必说,就连镀层中含有的Pb等的有害物质分析与膜厚测量也可同时进行。例如,可进行无铅焊锡镀层和引线架的Sn镀层,无电解Ni镀层中含有的有害物质的浓度测量。

Sn-Ag/Cu的膜厚、组成比测量

  • 分析范围: 1.2 mm
  • 薄膜FP法
  • 测量时间:
    • 100 秒 (Pb滤波器)
    • 30 秒 (无滤波器)

Au/Ni/Cu的膜厚测量

  • 测量尺寸: 0.2 mm
  • 标准曲线法
  • 测量时间: 30 秒
Thick Comp ratio Haz Sub
Sn-Ag [µm] Ag [wt%] Pb [ppm]
1 5.34 2.83 291
2 5.30 2.63 297
3 5.31 2.64 347
4 5.34 2.73 303
5 5.31 2.67 329
6 5.33 2.67 334
7 5.33 2.75 291
8 5.30 2.74 262
9 5.35 2.72 303
10 5.36 2.91 308
AV. 5.33 2.73 306.5
SD 0.02 0.09 24.6
CV 0.4% 3.2% 8.0%
Au [µm] Nl [µm]
1 0.054 5.11
2 0.055 5.11
3 0.054 5.12
4 0.055 5.08
5 0.054 5.10
6 0.055 5.13
7 0.053 5.08
8 0.053 5.09
9 0.054 5.08
10 0.055 5.14
AV. 0.054 5.14
SD 0.008 0.02
CV 1.5% 0.4%

灵活的操作性

高清晰图像

可获得250 mm×200 mm的20 µm以下高清晰度的光学影像,能够进行高精度的图像解析。


位置指定

在大面积样品图像(左)上的任意地方,只需移动鼠标来确认线路板上的部件编号后,就可进行数码变焦。12倍变焦让操作更自由更简单。

自动接近

通常上方照射型的X射线荧光分析仪可通过手动方式进行高度调整,而安装了激光传感器的EA6000VX拥有[样品高度自动测量]的功能,可以自动调整最接近样品的高度,使操作更便捷。同时还可以防止由操作失误所造成的仪器、样品的损坏。※在日本已申请专利

高精度重叠功能

采用了广域光学系统和高精度XY样品台,通过样品图像和扫描图像的完全重叠,可进行大范围的高精度分析。非广域光学系统,在测量凹凸的样品的情况下,样品图像指定的点和扫描图像的点无法一致,分析就变得非常困难。

通过样品图像和扫描图像的重叠,可简单认定目标元素的含有区域。重叠位置精度在100 µm以内。最多3个元素可同时和样品图像的重叠,也可变化重叠的顺序。另外,具有重叠图像的半透明表示和颜色搭配的调整等多种工具,大幅提高了分析的能力。

高精度重叠功能的Pb分析事例

图1:Pb在最上面的显示情况

图2:Sn在最上面的显示情况

由图1可知A、B都含有铅。从图二可知只有A含有Sn。由此可得知A为焊锡中的铅,B为贴片电阻中的铅。

连续测量的报告输出

只需点击一下测量结果即可生成EXCEL。另外,测量结果可在总报告书里对测量信息,测量日期和测量结果等进行确认。通过点击样品编号,还可生成有关测量条件,样品图像,能谱等的A4格式的详细报告书,可直接作为测量结果报告书使用。