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Hitachi

日立仪器(上海)有限公司

EA6000VX 具备FT系列设备的标准功能,即:镀层膜厚测量。比如极薄的Au镀层等的膜厚测量,并且能够同时进行膜厚与有害元素的测量。比如:能够测量无铅焊锡镀金、元器件引脚上的Sn镀层、化学Ni镀层中含有的有害元素的浓度。

Sn-Ag/Cu的膜厚・组成比测量
皮膜中の有害物質分析(Pb)
分析区域:☐1.2 mm
薄膜FP法
测量时间: 100 秒(Pb滤波器)/30 秒(无滤波器)

Au/Ni/Cu的膜厚测量
面积:☐0.2 mm
检量线法测量
时间: 30 秒

厚度 组成比 有害元素
Sn-Ag [µm] Ag [wt%] Pb [ppm]
1 5.34 2.83 291
2 5.30 2.63 297
3 5.31 2.64 347
4 5.34 2.73 303
5 5.31 2.67 329
6 5.33 2.67 334
7 5.33 2.75 291
8 5.30 2.74 262
9 5.35 2.72 303
10 5.36 2.91 308
平均值 5.33 2.73 306.5
标准偏差 0.02 0.09 24.6
CV 0.4% 3.2% 8.0%
Au [µm] Nl [µm]
1 0.054 5.11
2 0.055 5.11
3 0.054 5.12
4 0.055 5.08
5 0.054 5.10
6 0.055 5.13
7 0.053 5.08
8 0.053 5.09
9 0.054 5.08
10 0.055 5.14
平均值 0.054 5.14
标准偏差 0.008 0.02
CV 1.5% 0.4%