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Hitachi

日立仪器(上海)有限公司

EA6000VX 能够检测到肉眼辨别不出来的极微小异物。
能够在短时间内判定出样品中含有异物的位置并能够从得到能谱图中得到更多详细的信息,如果再延长一些扫描时间,就可以得到更加清晰的扫描图像数据。

大面积样品微小异物的检测案例

对100 mm×100 mm大小的样品扫描测量3分钟,检测出含有肉眼分辨不出的70 µm大小的微小异物(图2)。对图2中的A区域使用小束流扫描测量3分钟,得到关于A区域的详细扫描图像(图3)。使用简易扫描测得的一点异物图像中,实际上是2处的异物点。因此,任意对其它简易图像中的异物点进行测量,就可以得到更加详尽的测试结果。


图1. 试样图像

测量条件
管电压: 50 kV
管电流: 1000 µA
一次滤波器: OFF
照射面积: 1.2 mm(粗略扫描)0.2 mm(精细扫描)


图2.Fe元素扫描 (粗略扫描3分)
图示测量区域: 100 mm×100 mm


图3.Fe元素扫描图像(精细扫描3分)
测量区域: 1 mm×1 mm


图4. 选定区域的能谱

极微小异物的检测案例

使用微小束流对图2Fe元素密集的B区域扫描测量30分钟,取得详细的扫描图像数据(图5)。使用高精度的光学显微镜观察图5中的C标记点,能够确认存在约50 µm大小的异物(图6)。由于仪器还能够更小区域的扫描图像,因此,说明EA6000VX可以检测出小于50 µm的异物。