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日立仪器(上海)有限公司

「差分扫描」选购项软件是,根据采取的基板等样品可以获得两种扫描数据的差分(评价数据、参考数据)。因为他具有位置移动的补正功能,可以不介意样品设置的偏差,评价样品之间的变化(差异)。
适用于复数扫描结果的比较。

差分扫描的使用例

评价复数的基板样品时,根据复数的结果来比较不同点需花费时间。

所谓差分扫描,是通过评价基准样品和待测样品之间的区别从而大幅度的提高测量结果的解析的效率。

通过差分扫描的画面,将指定元素的评价数据、参考数据、差分数据的扫描图像并列,从而可以简单的确认其变化。