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Hitachi

日立ハイテクソリューションズ

ドライ真空ポンプ EV-S20 EV-S20 EV-S20 EV-S20

特長

  • 省エネルギー、省スペース、軽量化を実現
  • 電源周波数(50Hz/60Hz)にかわりなく同一性能
  • 充実したセンシング機能でダウンタイムを低減

概略仕様

型式EV-S20EV-S50EV-S100EV-S200
排気速度(L/min) 1,670 5,000 10,000 20,000
消費電力(kW) 0.4 0.55 0.65 0.75
質量(kg) 60 100 120 170

ラインアップ

ドライ真空ポンプ PDV250 PDV500

ドライ真空ポンプ EV-A10

ドライ真空ポンプ 置き換えシュミレーションサービス

その他のラインアップ


EV-M型
生成物が生じる用途向け


ESA型
水素の大量排気向け


ESR型
省エネ、省スペース向け

販売 株式会社日立ハイテクソリューションズ
開発・製造 株式会社荏原製作所 精密・電子事業カンパニー
保守 株式会荏原フィールドテック

お問い合わせ先(営業)

  • TEL 03-6758-2091
  • FAX 03-5859-5763

当社製品のご購入やサービスの導入をご検討されているお客さまのご質問、ご相談などを承ります。ぜひ、お気軽にご相談ください。

関連リンク

イオンビームミリング装置の保守・サービス会社のWebサイトです。