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Hitachi

日立ハイテクソリューションズ

ドライ真空ポンプ 置き換えシミュレーションサービス

EV-S型シリーズへの置き換えのご検討用にユーティリティ費用のシミュレーションを行わせていただきますのでお問い合わせよりお申し入れください。

ドライ真空ポンプの省エネ、省スペースの歴史

ロータリーポンプからドライポンプへの置き換えが容易です。省エネルギータイプへの置き換えによるランニングコストの低減が可能です。

荏原製作所のドライポンプの省エネ、省スペースの歴史


出典:エバラ時報 No227 (2010-4) P15, P16

ラインアップ

ドライ真空ポンプ PDV250 PDV500

ドライ真空ポンプ EV-A10

ドライ真空ポンプ EV-S20 EV-S20 EV-S20 EV-S20

その他のラインアップ


EV-M型
生成物が生じる用途向け


ESA型
水素の大量排気向け


ESR型
省エネ、省スペース向け

販売 株式会社日立ハイテクソリューションズ
開発・製造 株式会社荏原製作所 精密・電子事業カンパニー
保守 株式会荏原フィールドテック

お問い合わせ先(営業)

  • TEL 03-6758-2091
  • FAX 03-3504-5194

当社製品のご購入やサービスの導入をご検討されているお客さまのご質問、ご相談などを承ります。ぜひ、お気軽にご相談ください。

関連リンク

イオンビームミリング装置の保守・サービス会社のWebサイトです。