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Hitachi

株式会社 日立ハイテクノロジーズ

概要

隔膜と試料とが非接触の状態で大気圧下のバルク固体試料のSEM観察が可能な大気圧SEM観察法を開発した。本方式では、電子線を透過し真空を封止する隔膜を利用し、大気圧下に配置した試料に隔膜および大気圧空間を通して電子線を照射する。本技術を卓上顕微鏡に適応し、加速電圧15kVの条件において大気圧SEM像を取得することを確認した。

装置構成

試料は大気圧雰囲気下に配置される。外部ポンプにより試料雰囲気を負圧にすることが可能である(図1)。さらに、隔膜をとりはずせば通常の低真空観察も実施可能である(図2)。


図1 大気圧または負圧観察時


図2 低真空観察時

原理説明

試料-隔膜間距離、大気圧チャンバ内部の気圧を変えてSEM像を確認した。(加速電圧15kV)

  • 大気圧下において、試料-隔膜間距離が50µm以下程度で観察可能
  • 試料環境を負圧にすることで画質が向上