ページの本文へ

Hitachi

株式会社 日立ハイテクノロジーズ

「新形300kV高分解能透過電子顕微鏡 H-9500」の販売開始

前処理から記録まで、初心者でも簡単に高分解能像観察を実現

2003年6月5日

株式会社日立ハイテクノロジーズ(取締役社長:桑田 芳郎/以下、日立ハイテクノロジーズ)は、2003年6月6日、半導体から各種材料まで幅広い分野において高スループットで原子像が観察できる「新形300kV高分解能透過電子顕微鏡 H-9500」の販売を開始します。
半導体デバイスの微細化対応や微粒子新材料の開発には、原子像観察レベルの高分解能透過電子顕微鏡(以下TEM(Transmission Electron Microscope))が必要です。TEMの使用者は、TEMの専門知識を習得した熟練者が中心でした。しかしながら、開発の高速化、業務の迅速対応の要求により、高分解能像を必要とする人が、初心者でも簡単に使用でき、より操作性を向上したパソコン制御TEMが求められていました。このような要望に対応し、「新形300kV高分解能電子顕微鏡 H-9500」はPC-TEMとして開発されました。
デジタルCCDカメラを標準装備し、PC画面上にリアルタイムでTEM画像が表示できるため、明るい部屋で高分解能像観察ができます。従来から定評のある多段加速管、抵抗ケーブルの使用により安定した300kVを実現し昇圧時間3分、試料交換1分でスループットの高い観察がおこなえます。
また、H-9500制御画面の表示はWindowsTMの標準画面に準拠しているので、TEM操作の経験が少ない方でもTEM操作に入り易いような画面構成となっています。また、この画面上では常に観察位置をモニターしているので、試料の位置を簡単に把握でき、観察位置トレース機能を併用させることによってすでに観察した視野か否かを瞬時に判断できます。さらに、マイクサンプリング付FIBにより薄膜試料作製を行うことにより、見たい観察位置の試料作製が容易に行われ、不良解析を高スループットで行えます。
本体標準価格は1億3,500万円。日立ハイテクノロジーズは、年間30台の販売を目指し、9月から出荷を開始する予定です。

特長

  1. 高分解能像が容易に観察可能なデジタルTEMです。
  2. PC制御とデジタルカメラのインテグレーションにより簡単にデジタル画像が得られ、画像データ管理、画像処理ができます。
  3. 従来から定評のある多段加速管、抵抗ケーブルの使用により安定した高圧を実現し、高圧昇圧3分、試料交換1分でスループットの高い像観察が行えます。
  4. 5軸ハイパーステージを標準装備しています。オートドライブ、試料位置のトレース機能が可能です。

お問合せ先

お問い合わせ頂く前に、当社「個人情報保護について」をお読み頂き、記載されている内容に関してご同意いただく必要があります。
当社「個人情報保護について」をよくお読みいただき、ご同意いただける場合のみ、お問い合わせください。

お問い合わせ先
人事総務本部 総務部広報課 担当:木村
TEL:03-3504-5456  FAX:03-3504-7123
デバイス製造装置事業統括本部 先端製品営業本部
ナノテクノロジー部 担当:世渡
TEL:03-3504-5757  FAX:03-3504-7745
E-MAIL:seto-kazuyoshi@nst.hitachi-hitec.com