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Hitachi

株式会社 日立ハイテクノロジーズ

走査電子顕微鏡SU8000シリーズを発売

―超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡―

2011年2月14日

株式会社日立ハイテクノロジーズ(執行役社長:大林 秀仁/以下、日立ハイテク)は、新たに開発した走査電子顕微鏡SU8010形、SU8020形、SU8030形を発表し、2010年8月1日より発売開始しているSU8040形と合わせて4機種を「SU8000シリーズ」として2月14日から発売します。

半導体などのエレクトロニクス分野や各種機能性材料分野、あるいは生物、製薬などのバイオテクノロジー分野などのナノテクノロジー分野では次世代の最先端科学技術を支える中核技術として、世界中で研究開発が進められています。超高分解能FE-SEMはこのような幅広いナノテクノロジー分野において、試料表面の微細構造観察に欠かせないツールとして広く採用されています。

超高分解能観察に適したコールドFE電子銃を搭載したセミインレンズ(シュノーケルレンズ)タイプのFE-SEMとして、当社では、1992年よりS-4500形を発売開始いたしました。その後、2002年にはインレンズ並みの分解能を実現したS-4800形を、2008年にはその上位機種であるSU8000形をラインナップとして強化し、両装置で販売台数1,000台を超えるベストセラーモデルとして幅広くお客様にご支持いただいてきました。

この度発売した「SU8000シリーズ」では、これらのベストセラーモデルの優れた特長をプラットフォームとして共通化し、ステージ、信号検出系、試料室サイズの異なる4機種へと統合しました。超高分解能観察を可能とする電子光学系や、観察目的に合わせた高コントラスト観察を可能とする日立ハイテク独自の信号検出系、快適な操作環境を提供する24.1型の大型ワイドモニターを採用したユーザーフレンドリーGUI(Graphical User Interface)といった優れた特長についてはSU8000形から踏襲しています。また従来機種よりご好評頂いているリターディング機能についてはさらに強化し、照射電圧1.0kVでの分解能を1.4nm(従来機種SU8000形)から1.3nmに向上しています。

各機種の特長は以下の通りです。

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SU8010 Lower/Upperの2つの二次電子検出器を搭載したスタンダードモデル。
SU8020 Top検出器を加えた3つの二次電子検出器を搭載し、信号検出のバリエーションを拡張。
SU8030 大型試料室・大型ステージ搭載モデルを採用し、大型試料にも対応。
SU8040 高性能レグルスステージ(呼称:レグルス(Regulus: REGULated Ultra Stable))を搭載し、高倍率観察時において追従性の高い操作性を実現した最上位モデル。
(SU8020/SU8030/SU8040の信号検出系は共通)

ご用途・ご予算に応じてお選び頂ける4機種をご用意することにより、今後ますます多様化していくナノテクノロジー分野での幅広いニーズに柔軟に対応していきます。

本体標準価格はそれぞれSU8010/6,800万円、SU8020/7,400万円、SU8030/8,000万円、SU8040/8,400万円から(税別)。出荷開始は2011年4月の予定で、シリーズ合計で年間400台の販売を見込んでいます。

超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡「SU8040」
超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡「SU8040」

主な仕様

主な仕様
  SU8010 SU8020 SU8030 SU8040
  二次電子分解能 1.0nm(加速電圧15kV、WD=4mm)*1、1.3nm(照射電圧1kV、WD=1.5mm) *1
照射電圧 0.1~30kV
倍率 60x~2,000,000x *2
試料ステージ ステージ制御 3軸モータ駆動 5軸モータ駆動 5軸モータ駆動 5軸モータ駆動(Regulusステージ *3)
5軸モータ駆動(オプション)
可動範囲 X 0~50mm 0~50mm 0~110mm 0~110mm
Y 0~50mm 0~50mm 0~110mm 0~80mm
R 360° 360° 360° 360°
Z 1.5~30mm 1.5~30mm 1.5~40mm 1.5~40mm
T -5~70° -5~70° -5~70° -5~70°
最大試料サイズ 100mm径(最大) 100mm径(最大) 150mm径(最大) 150mm径(最大)
150mm径(オプション) 150mm径(オプション) 200mm径(オプション)
再現性 - - - ±0.5μm以下
二次電子検出系 Lower
Upper
Top -
  SE/BSE信号可変方式(Upper)
*1
自社試料のSEM像から最小の粒子間Gapを測定
*2
345mm×259mm(1,280×960画素表示)を表示サイズとして倍率を規定
*3
REGULated Ultra Stage(当社製高性能ステージ)

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