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Hitachi

株式会社 日立ハイテクノロジーズ

第31回 材料解析テクノフォーラムを東京、大阪の2会場で開催させていただくことになりました。
今回は、主に電子顕微鏡を用いた次世代材料開発の解析技術および製品をご紹介させていただきます。
セミナー終了後、クロストーキング(懇親会)を設けております。奮ってご参加賜りますようご案内申し上げます。

開催概要

開催日

2015年7月12日(火)

開催時間

10:00~17:00(受付開始 9:30~)

会場案内

大阪府豊中市新千里東1-4-2
千里ライフサイエンスセンター
5F ライフホール

参加費

無料

定員

150名
* 原則として、先着順とさせていただきます。

お申し込み

受付は終了いたしました。
多数のお申し込みをいただき、誠にありがとうございました。

問い合わせ先

株式会社日立ハイテクノロジーズ
科学・医用システム部 担当/吉村(よしむら)
TEL:050-3139-4877

スケジュール

スケジュール
時間 テーマ/内容
9:30~ 受付開始
10:00~10:10 開会の挨拶
10:10~10:50

キャパシタの現状と展望:大容量ハイブリッドキャパシタ時代の到来

次世代大容量キャパシタ(高速蓄電デバイス)の材料開発に向けたTEM/SEM観察の活用事例を紹介する。講演では、高速充放電可能な空間・空隙制御されたカーボン/金属酸化物(チタン酸リチウム、リン酸鉄他)複合体に注目。特に、ナノ構造・ナノ空間・2次元結晶化、TEMによる昇温・結晶化その場観察などについて述べる。観察には、H-9500やS-5500を用いている。

東京農工大学大学院
工学研究院応用化学部門
教授 直井 勝彦
10:50~11:30

熱間加工磁石の組織、磁区構造等のSEM、SPMを用いた詳細解析

熱間加工ネオジム磁石の一番の特徴は、独自の製造方法により、微細組織(結晶粒径200~500 nm)を有する点である。
このような微細組織は、磁気特性に対して優位であるが、その反面、組織や磁区観察の手法が限定される。
講演では、熱間加工磁石の磁区観察に環境制御走査型プローブ顕微鏡AFM5300Eを活用した例を紹介する。

大同特殊鋼株式会社 技術開発研究所
電磁材料研究部 磁石材料第一研究室
日置 敬子
11:30~11:50

新製品AFM5500MとSEM-SPMコリレーションアプリケーションのご紹介

新製品AFM5500Mは4インチ電動ステージタイプのSPMです。
新開発のハード/ソフトにより従来よりも大幅に操作性と計測精度を向上しました。また、SEM-SPM共通座標リンケージホルダにより、SEMによる組織、組成、元素分布観察等とSPMによる高精度3D形状計測、各種物性計測を手軽に同一箇所で行えるようになりました。

株式会社日立ハイテクサイエンス
応用技術部
山岡 武博
11:50~12:05

新型コンパクトSEM 「FlexSEM 1000」のご紹介

FlexSEM 1000は、装置の小型軽量化により卓上設置を可能とするとともに、上位機種と同等レベルの分解能での観察、ユーザーの熟練度を問わない操作性の向上を実現した新型の低真空SEMです。
今回のセミナーでは、本装置の特長および観察事例をご紹介します。
また実機展示も行います。

株式会社日立ハイテクノロジーズ
電子顕微鏡ソリューションシステム設計部
小室 浩之
12:05~13:20 昼食
*昼食は当社が準備いたします。
13:20~13:40

材料解析をサポートするFE-SEM観察手法の拡張

SEMは材料解析において、これまでの微細構造や組成・組織の観察に加え、3D情報取得や他の測定装置との複合解析にまでその役割が拡張されています。
今回のセミナーでは弊社FE-SEMの特徴的な信号検出による観察事例や、シリアルブロックフェイスイメージングの応用事例、さらにSPM測定との複合解析事例をご紹介します。

株式会社日立ハイテクノロジーズ
アプリケーション開発部
設楽 宗史
13:40~14:00

インレンズSEMをベースとした複合解析装置による最新アプリケーション

FE-SEMのフラグシップモデルSU9000は、これまでの超高分解能観察に加え、大面積Windowless SDD検出器およびEELSシステムを搭載可能です。これにより、多角的な解析が実現しました。
今回は、本システムを用いた最新アプリケーションとしてゼオライト触媒の特性評価事例を中心にご紹介します。

株式会社日立ハイテクノロジーズ
アプリケーション開発部
砂押 毅志
14:00~14:20

トリプルビーム装置を用いたGaN系化合物半導体のTEM試料作製

GaN系化合物半導体のTEM/STEM観察においては、FIB加工により形成したダメージ層が微細構造評価を困難にしています。
今回、トリプルビーム装置を用いた試料作製方法をLED材料に適応した結果、原子分解能での膜厚計測、GaN/InGaN界面の急峻性評価などに有効であることが示されました。

株式会社日立ハイテクノロジーズ
アプリケーション開発部
佐藤 高広
14:20~14:40

高感度電子線ホログラフィーによる有機EL内部の電位分布の可視化

電子線ホログラフィーは試料内外の電磁場観察に適応されています。
ここでは、位相シフト電子線ホログラフィーと二段プリズム法を用いた有機EL内部の電位分布観察の試みについて報告します。
また、電顕内での有機EL発光時のオペランド観察実現に向けたアプローチについてもご紹介します。

株式会社日立ハイテクノロジーズ
アプリケーション開発部
佐藤 岳志
14:40~15:00 コーヒーブレイク
15:00~15:20

原子分解能・ホログラフィー電子顕微鏡の開発

原子レベルの分解能で物質の構造や電磁場を計測できる、世界最高分解能の電子顕微鏡“原子分解能・ホログラフィー電子顕微鏡”が昨年完成した。超高圧電子顕微鏡として世界で初めて球面収差補正器を搭載し、その性能を引き出すために究極の高精度・高安定技術を実現した。日立におけるホログラフィー電子顕微鏡の開発を概観し、今回の装置の開発の経緯、および今後の活用についてご紹介します。

株式会社日立製作所
研究開発グループ
基礎研究センタ
主管研究長 品田博之
15:20~15:40

日立FIB-SEMの高品位TEM試料作製技術

TEM等の解析用試料作製にはFIB-SEMが広く使用されていますが、複合材料試料のTEM試料作製において、材料のエッチングレート差に起因するカーテン効果が課題となっています。
今回、日立が取り組む独自のカーテン効果抑制技術“ACE (Anti Curtain Effect) 機能”の効果をご紹介します。

株式会社日立ハイテクサイエンス
設計本部 BT設計部
清原 正寛
15:40~16:20

環境制御電子顕微鏡による機能性材料のその場観察

ガス反応触媒や、燃料電池など電池材料などの動作原理を解明するため手法のひとつとして、反応中のその場観察が行える環境制御電子顕微鏡技術について紹介する。
その機能の特徴などを概説し、具体的な応用例として貴金属触媒のガス反応観察を中心に最近の研究成果を発表する。
また、将来展望として高分解能化のための新しい収差補正技術についても紹介する。

一般財団法人ファインセラミックスセンター
ナノ構造研究所
上級研究員
川崎 忠寛
16:20~17:00

窒化物半導体系デバイスの現状と今後の展開

窒化物半導体は、青色発光ダイオードに代表される光デバイスとへと応用されてきた。
一方で、紫外~赤外の発光デバイスとしての潜在能力を秘めているものの、実用化には至っていない。
また、ワイドギャップとしての特徴である高い絶縁破壊電界という利点を活かした,パワーデバイスへの応用も期待されている。
さらに太陽電池やフォトカソード電子線源など様々な研究が行われており、その現状を報告する。

名古屋大学
未来材料・システム研究所
未来デバイス部
准教授 本田 善央
17:00~17:05 閉会のご挨拶
17:05~18:50 クロストーキング(懇親会)
  • * 演題、講演時間などにつきましては、予告なく変更することがあります。あらかじめご了承ください。