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Hitachi

株式会社 日立ハイテクノロジーズ

第32回 材料解析テクノフォーラムを東京、大阪、九州の3会場で開催させていただくことになりました。
九州会場はサテライト会場となりますが、東京会場と同日開催します。
今回は、主に電子顕微鏡を用いた次世代材料開発の解析技術および製品をご紹介させていただきます。
セミナー終了後、クロストーキング(懇親会)を設けております。奮ってご参加賜りますようご案内申し上げます。

開催日

2017年7月5日(水)

開催時間

10:00~17:05(受付開始 09:30~)

会場案内

東京都港区港南2-16-4 グランドセントラルタワー3F
THE GRAND HALL

参加費

無料

定員

300名
* 原則として、先着順とさせていただきます。

お申し込み

受付は終了いたしました。
多数のお申し込みをいただき、誠にありがとうございました。

問い合わせ先

株式会社日立ハイテクノロジーズ
科学システム二部
担当:小平(おだいら)
TEL:03-3504-7378

スケジュール

スケジュール
時間 テーマ/内容
09:30~ 受付開始
10:00~10:10 開会の挨拶
10:10~11:00

溶液中で起こるナノスケール現象のTEMその場観察

近年、透過型電子顕微鏡(TEM)に溶液を導入する手法が考案され、これまで光学顕微鏡のレベルで捉えられていた結晶の核生成、成長、溶解、反応のプロセスや、細胞、ウイルスの環境応答などの現象をTEMを用いて観察可能になってきた。
本講演では、本手法の詳細とタンパク質の結晶化やセメント反応などの最近のトピックスを紹介する。


国立大学法人北海道大学
低温科学研究所
准教授 木村 勇気

11:00~11:50

SiC上グラフェンの各種顕微鏡法による観察・評価

SiC上グラフェンは、単結晶、且つ、ウエハスケールでの作製が可能であり、将来の電子デバイス用の新規材料として有望である。単原子層カーボン材料であるグラフェンの評価は、最先端の各種顕微鏡法にとっても挑戦的な課題である。
本講演では、走査プローブ顕微鏡を用いたSiC上グラフェンの物性評価を中心に、各種顕微鏡による観察結果を交えて議論する。


国立大学法人徳島大学大学院
社会産業理工学研究部
教授 永瀬 雅夫

11:50~12:10

新型イオンミリング装置「ArBlade® 5000」のご紹介

ArBlade 5000は、断面ミリングレート1,000 µm/hr以上を実現する高ミリングレートイオンガンを搭載したハイブリットミリング装置です。標準装備のワイドエリア断面ミリング機能により広領域約8 mmのイオンミリングが可能となり、高レートイオンガンの特徴を生かすことができます。
本報告では、ArBlade5000の特長や加工例をご紹介します。


株式会社日立ハイテクノロジーズ
電子顕微鏡第二設計部
岩谷 徹

12:10~13:20

昼食
* 昼食は当社が準備いたします。

13:20~13:40

新型FE-SEM Regulusシリーズのご紹介

4機種からなるRegulusシリーズは、新開発のコールドFE電子銃の搭載により低加速電圧での高分解能観察と分析を両立します。また、さまざまな材料コントラストを可視化するための検出機能も充実しており、検出信号を把握するためのユーザーサポート機能も強化しました。
本セミナーではこれらの特長およびアプリケーション例をご紹介します。


株式会社日立ハイテクノロジーズ
アプリケーション開発部
竹内 秀一

13:40~14:00

ナノ材料解析向け新型120 kV TEM HT7830のご紹介

新型120 kV TEM「Ruli TEM HT7800シリーズ」のナノ材料向けとして、HT7830を開発いたしました。この装置では、ナノ材料などの解析やスクリーニングなどに対応するため、像分解能向上に加え、観察機能の充実を図りました。また、排気系も強化し、insitu TEM観察にも対応可能です。
今回は、本装置の新機能とナノ材料観察事例をご紹介いたします。


株式会社日立ハイテクノロジーズ
電子顕微鏡第二設計部
矢口 紀恵

14:00~14:20

トリプルビーム®装置を用いたSiCパワーデバイスのドーパント観察

SiCパワーデバイス内ドーパントのSEM観察では、FIB断面加工時に形成されたダメージ層が構造評価を困難にしています。NX2000はFIB-SEMに低加速Ar銃を搭載したトリプルビーム®機能を有し、FIB加工で生じたダメージ層の除去が可能です。本機能をドーパントのSEM観察に適用した結果、その形状や分布が高コントラストで観察できました。


株式会社日立ハイテクノロジーズ
アプリケーション開発部
伊井 由花

14:20~14:40

高汎用性SEM SU5000を活用した観察手法のご紹介

SU5000は強力な光学系、検出系を有し、大型試料チャンバの大気開放に対応います。そのため多様なニーズに即した検出器、サブステージを搭載できる高い拡張性を有します。
本セミナーでは各種検出器による解析、3次元情報の取得や、その場観察などのアプリケーション例をご紹介します。


株式会社日立ハイテクノロジーズ
アプリケーション開発部
重藤 訓志

14:40~15:00

コーヒーブレイク

15:00~15:20

HF-3300 位置分解型EELS法と画像処理を用いた磁性多層膜の高精度・高分解能スペクトル計測

積層膜の分析や結晶粒界近傍の解析に有効なSR-EELS手法は、MSAやDeconvolution等の画像処理を施すことで、ノイズ低減やエネルギー分解能向上が期待できるが、今回、その手法をスピンエレクトロニクス分野で注目されるCoFeB磁性多層膜に適応し、サブナノメートル分解能で高精度な深さ計測を行った結果を紹介する。


株式会社日立ハイテクノロジーズ
アプリケーション開発部
佐藤 岳志

15:20~16:10

材料&計測インフォマティクスの概要と展望

マテリアルズ・インフォマティクスが脚光を浴びている。データ科学手法の適用により、材料の発見から実用化までのプロセスの加速を目的とする。一方、データ科学を先端計測分析法へ導入し、新たなパラダイムの構築が期待されている。材料&計測インフォマティクスの概要と最近の応用展開としていくつかの事例を紹介したい。


国立研究開発法人
物質・材料研究機構
理事 藤田 大介

16:10~17:00

酸化チタン系材料の低次元ナノ構造・機能チューニング

チューブやシート状構造を持つチタニア系低次元ナノ材料について、物性と低次元ナノ構造との相関による多彩な性質と機能を紹介する。さらに次元性や表面化学などに着目した材料の複合化例や、こうした低次元ナノ構造チューニングにより発現するエネルギー・環境・生体適合機能などについて、超高分解能電顕解析などの結果と合わせて紹介する。


国立大学法人大阪大学
産業科学研究所
教授 関野 徹

17:00~17:05 閉会の挨拶
17:05~18:50 クロストーキング
  • * 演題、講演時間などにつきましては、予告なく変更することがあります。
    あらかじめご了承ください。