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Hitachi

株式会社 日立ハイテクノロジーズ

4分割された反射電子検出器により試料の3次元情報を取得することで、試料 の鳥瞰図や3次元表示が行えると共に、試料の高さ計測が可能なソフトウェアです。

価格:お問い合わせください

取扱会社:株式会社 日立ハイテクノロジーズ

特長

  • マウス操作で、3次元観察像の回転、ズームができます。
  • 4分割反射電子検出器で取得した信号を用いて4方向の表面形状を計算するため、試料傾斜、視野位置合わせを行うことなく3次元モデルの構築ができます。
  • 2点間の高さ寸法計測、表面積や断面プロファイルによる簡易表面粗さが計測できます。
  • 3次元モデルの回転表示の様子を動画ファイル(AVI形式)で記録できます。

仕様

項目内容
インポート機能 4素子画像データ自動選択・読み込み機能(観察条件自動取得機能付)
測定性能 深さ精度 ±20%(参考値)
校正精度や試料の材質、観察モード、観察条件に依存します。
検出可能角度 ±50°(参考値)
観察モードが「標準モード」の場合の参考値になります。
上記の参考精度は、観察モードが「帯電軽減モード」で、観察条件が「表面」の場合には対象になりません。
測定機能 断面プロファイル表示
各種校正機能
画像上で指定した任儀の2点間のX(横方向)、Y(縦方向)、長さ、角度則測定
表面積測定
断面プロファイル上での2点間のX(横方向)、Y(縦方向)、長さ、角度則測定
断面プロファイル上での表面粗さ測定
断面プロファイル表示の深さ方向ズーム機能
ベースライン補正機能(直線、曲線)
鳥瞰図表示
カラ―等高線表示
3次元表示機能 回転、ズーム
表示履歴動画記録機能(AVIファイル)
対応OS Windows® 7 Professional
*
:検出角度を超える急峻な試料の凹凸構造は正確に表示できない場合があります。

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