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Hitachi

株式会社 日立ハイテクノロジーズ

卓上大気圧顕微鏡 AeroSurf® 1500

真空下だけではなく、大気圧下でのSEM観察を実現。
含水試料も前処理せず、そのまま観察することができます。

価格:お問い合わせください

取扱会社:株式会社 日立ハイテクノロジーズ

特長

  • 含水試料も、前処理せずに大気圧下でSEM観察が可能
  • 低真空から大気(数 Pa~105 Pa)まで、幅広い圧力下でSEM観察が可能
  • ES-Corrector®(電子線散乱補正)による画像改善機能を標準搭載
  • 真空モードでは、通常のSEM観察に加え、EDX分析(オプション)も可能
  • 本体幅330 mmのコンパクト設計で、省スペース・高い利便性を実現
  • 真空引きの待ち時間がなく、試料搭載から画像観察までスピーディな観察を実現
  • * ES-Correctorは、株式会社日立ハイテクノロジーズの日本登録商標です。

概要

大気圧観察(図1)

  • 試料は大気圧雰囲気下(105 Pa)に設置されます
  • 試料を配置する大気圧チャンバとSEM内部は隔膜で分離されており、SEM内部の真空を保持しながら、試料に電子線を照射し観察することが可能です
  • さらに、付属の真空ポンプにより負圧下(約103~105 Pa)で観察も可能です

低真空観察(図2)

  • 隔膜は取り外しでき、低真空SEM観察、EDX分析も可能です
  • Miniscope®で実績のある高感度半導体反射電子検出器を搭載しています

図1:大気圧または負圧観察時

図2:低真空観察時

  • * AeroSurfは、株式会社日立ハイテクノロジーズの日本登録商標です。

仕様

仕様
項目内容
電子銃 プリセンタードカートリッジフィラメント
検出系 高感度4分割半導体反射電子検出器
加速電圧 5 kV/15 kV
倍率 ×15~×60,000 (デジタルズーム使用時:×240,000)
観察圧力 大気圧モード(105 Pa)(隔膜装着時)
負圧モード(約103 Pa~105 Pa)(隔膜装着時)
真空モード(数 Pa~数10Pa)(隔膜取り外し時)
最大試料寸法 55 mm径
大きさ・質量 本体:330(W)×687(D)×565(H) mm, 67.0 kg(マニュアルステージ)
制御ユニット:220(W)×368(D)×235(H) mm, 11.8 kg
ダイアフラムポンプ:145(W)×256(D)×217(H) mm, 4.5 kg ×2台

観察例

材料分野

含水再生セルロース繊維の乾燥動的観察

イメージ画像

試料ご提供:旭化成株式会社 乙部様

繊維に水分を含ませ、一度40 kPaにして余分な水分を緩やかに自然蒸発させてから大気圧下にて観察しました。
初めに繊維間の水分が蒸発し、その後、繊維内部の水が蒸発することで繊維自体が収縮し、最後に試料全体が収縮する様子が観察されました。
本観察の結果、および繊維の乾燥時と含水時の直径測定結果より、含水時に30%膨張すると考察され、含水時の繊維膨張率を計測することができました。

ゼプトロンPP(ポリプロピレンナノファイバー)の経時観察

イメージ画像

試料ご提供:ゼプト株式会社殿

撥水性に優れた本試料では、油が繊維内にしみこんでいる様子が確認されますが、水分はしみ込まないため、水分が繊維上に存在する様子が観察できます。

植物分野

花粉

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光学顕微鏡観察後に乾燥処理をしないで大気圧SEM観察することが可能です。

ツツジ花粉

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食品分野

味噌(自家製)

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乾燥パスタ

イメージ画像

乾燥パスタの表面を大気圧下で観察した後に同一試料を真空中で観察すると、表面に多数のひびが観察されました。
真空雰囲気下では試料内部の水分や空気が蒸発し試料表面を破壊したと考えられ、乾燥した試料であっても本来の試料形状を観察したい場合は、大気圧SEMで観察することは有効です。

バイオ分野

大腸菌

イメージ画像

大腸菌培養後、純水で薄め、プラスチック板に塗沫し、メタノール固定後に観察しました(無染色)。

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