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Hitachi

株式会社 日立ハイテクノロジーズ

使いやすいユーザーインターフェースと、独自のマップ機能や自動化機能で、ご好評をいただいているEMAX。

電子顕微鏡と組み合わせて微小領域の異物解析、組成分析に最適です。分析者が永年求めていた正確さ・スピード・使いやすさが実現しました。分析業務全体をわかりやすくサポートするフローチャート形式のナビゲータを搭載。高度な機能を使いやすく-これからのX線分析装置の姿です。

価格:21,000,000円~

取扱会社:株式会社 日立ハイテクノロジーズ

特長

短時間で「最適」分析

最適データに達した時点で解析を終了させる、まったく新しい分析手順を実現。
スペクトルを収集しながら定量も行えるリアルタイム分析が可能です。

より正確・迅速な解析

正確な結果がリアルタイムで得られる TruMap、TruLine、オートレイヤーで、正確・迅速な解析を実現。
次世代検出器に最適化された定量アルゴリズムを搭載。

大きく進化した操作環境

初心者から上級者まで多様なユーザーに使いやすさを提供します。
マルチタスクを実現し、測定しながらデータ確認、レポート作成、プリントアウトを行うことができます。

豊富なオプションソフトで分析をサポートします

  • ドリフト補正(Site Lock)ソフトウェア
  • 広域自動分析(オートメート)ソフトウェア
  • 広域マッピング(モンタージュ)ソフトウェア
  • 自動粒子解析(フィーチャー)ソフトウェア など

仕様

アナライザー

項目EX-270EX-370EX-470
アナライザー自動定性、KLMマーカ
ピークプロファイルの表示
定量
スペクトル比較
ポイント&ID分析エリア自動収集/スペクトル再構成
(全範囲、ポイント、短形、楕円、自由)
マッピングスマートマップ
部分マッピング
画像合成(レイヤー)
TruMap オプション
オートレイヤー オプション
ラインスキャン
TruLine オプション
オートロック(ドリフト補正) オプション
広域分析・粒子解析広域自動分析(オートメート)*1 オプション オプション
広域マッピング(モンタージュ)*1 オプション オプション
自動粒子解析(フィーチャー)*1 オプション オプション
*1:
SEM側に別途オートステージ・通信機能が必要です。対応SEMの型式をご確認ください。
広域マッピング(モンタージュ)には広域自動分析(オートメート)が必要です。EMAX ENERGYソフトにて対応します。
*:
Microsoft Wordは製品に含まれていません

検出器

項目X-Max80X-Max50X-Max20x-act
検出素子面積 80mm2 50mm2 20mm2 10mm2
分解能 Premium 124eV 124eV 124eV 127eV
分解能 Standard 127eV 127eV 127eV 130eV
検出元素 Be~Pu Be~Pu Be~Pu Be(B)~Pu
冷却方法 ペルチェ(電子)冷却 ペルチェ(電子)冷却 ペルチェ(電子)冷却 ペルチェ(電子)冷却