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Hitachi

株式会社 日立ハイテクノロジーズ

300kVで切り開く手軽な超高分解能

半導体から各種材料に至るまで微細化技術が進歩している現在、サブナノスケールの高分解能観察が不可欠となっています。
H-9500ではこれらのニーズをいち早く取り入れ、透過電子顕微鏡にとって必要な高分解能観察に加え、高機能で快適な操作性を追及しました。
従来のH-9000シリーズ300kV透過電子顕微鏡に、最新のデジタル技術を搭載することにより、超高分解能像を簡単に実現し、サブナノオーダーの世界を切り拓きます。

価格:お問い合わせください

取扱会社:株式会社 日立ハイテクノロジーズ

特長

快適な操作性

Windows®対応による使いやすいGUIを採用。
試料交換1分、高圧印加3分と、ハイスループットを実現。

手軽な高分解能観察

分解能0.10nm(格子像)、0.18nm(粒子像)を実現。
ドリフトの少ない5軸ユーセントリック・ハイパーステージ。

優れた安定性

H-9000シリーズを踏襲した10段加速の電子銃を採用。
高電圧抵抗ケーブルを採用。

多彩な拡張オプション

共用ホルダーを介して、HDシリーズ・FB/NBシリーズとのリンケージが可能。
加熱・冷却など各種ホルダーが使用可能。
EMIPソフトウェアによる高機能データ解析が可能。

その場観察が可能

ガス導入機構付き粉体試料加熱ホルダー*1等を用いてその場観察が可能。
(酸化・還元反応や結晶構造変化等)
CCDカメラによりリアルタイム像を観察・記録が可能。
ガス供給設備*1によりガス制御・分析・データ記録等が可能。

*1
:オプション

仕様

項目内容
分解能*2 0.10nm(格子像)
0.18nm(粒子像)
加速電圧 300kV、200kV*1、100kV*1
倍率ZOOM 1,000~1,500,000倍
SA 4,000~500,000倍
LOW MAG 200~500倍
電子銃フィラメント LaB6直流加熱方式
フィラメント交換 自動ガンリフト機構
高圧ケーブル 抵抗ケーブル
照射系レンズ構成 4段レンズ方式
可動絞り機構 4段切替クリックストップ方式
結像系レンズ構成 5段レンズ方式
対物レンズ可動絞り 4段切替クリックストップ方式
制限視野可動絞り 4段切替クリックストップ方式
電子回折カメラ長 250~3,000mm
試料室試料ステージ ユーセントリック5軸ハイパーステージ
試料サイズ 3mmΦ
試料位置表示 オートドライブ機能・試料移動トレース機能
試料傾斜角 α:±15°以上、β:±15°以上
試料汚染防止 レンズ周辺包囲方式
ベーキング機能 マイルドベーキング機能内蔵
観察室蛍光版 主蛍光板:110mm
双眼ルーペ 倍率:7.5倍
カメラ室視野切替 1、2視野(フル/ハーフ)随時切替
フィルム装填数 25枚/マガジン×2セット
制御系/GUI  OS:Windows®
モニター表示 19型モニタ
機能 データベース、測長機能、画像処理
デジタルCCDカメラ*3カメラカップリング レンズカップリング
有効画素数 1,024×1,024ピクセル
A/D分解能 12ビット
真空排気系電子銃部 イオンポンプ 60L/s
鏡体部 ターボ分子ポンプ 260L/s
観察室、カメラ室 油拡散ポンプ 280L/s
油回転ポンプ 135L/min 3式
大きさ 本体: 2,140(W)×1,610(D)×2,680(H)(mm)
DC電源: 535(W)×920(D)×1,820(H)(mm)
レンズ電源: 535(W)×930(D)×1,500(H)(mm)
HVタンク: 470(W)×650(D)×730(H)(mm)
油回転ポンプ: 235(W)×526(D)×310(H)(mm)×3台
エアコンプレッサ:(オプション) 560(W)×280(D)×530(H)(mm)
*
:上記仕様は300kV時のものです
*1
:オプション
*2
:倍率保証はオプションです
*3
:1k×1kデジタルCCDカメラオプション付属の時の仕様です

据付条件

項目内容
室温 15~25℃
湿度 40~60%RH
電源 単相AC200V 100A
接地 D種接地(100Ω以下)
冷却水 29,300kJ/h以上の冷却水循環装置(オプション)をご用意ください

設置例

日立透過電子顕微鏡 H-9500の設置例

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