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Hitachi

株式会社 日立ハイテクノロジーズ

ハイスループット観察を主眼においた、ロバストなワークホース 汎用300 kV TEM

超高分解能観察に最適な300 kV LaB6 電子銃を搭載。結晶粒界の高分解能像観察や、電子線回折像の取得に最適の装置です。透過電子顕微鏡にとって必要な高分解能観察に加え、高機能で快適な操作性を実現しました。H-9000シリーズで実績のある300 kV透過電子顕微鏡のカラムに、最新デジタルカメラを組み合わせることにより、超高分解能像を容易に実現し、サブナノオーダーの世界を切り拓きます。300 kVまで高圧印加3分、試料交換1分とハイスループットを実現しています。

価格:お問い合わせください

取扱会社:株式会社 日立ハイテクノロジーズ

特長

シンプル操作で、超高分解能観察を実現

シンプル操作で、分解能0.10 nm(格子像)、0.18 nm(粒子像)を実現。ドリフトレスなユーセントリックゴニオメータステージを採用し、さらに最新デジタルカメラと組合せることで、ハイスループット観察にご利用いただけます。

ワイドギャップ対物レンズ*1をオプション設定

標準レンズに加え、ご用途により、ワイドギャップ対物レンズ*1の選択も可能です。

ナノエリア制限視野回折*1

制限視野絞り*1の径を極小にすることで、10 nm径程度までのエリアを選択可能で、ナノエリアでの制限視野回折*1を実現します。

ガス導入その場観察*1に対応

照射系の差動排気を強化することで、試料室へのガス導入が可能です。ガス導入による試料の酸化・還元等の化学変化の様子を、リアルタイムでその場観察いただけます。

各種日立製高機能ホルダ*1に対応

日立FIB共用、3D解析、雰囲気遮断、ガス導入試料加熱、等の各種ホルダ*1に対応。

*1:
オプション

仕様

項目内容
分解能*2 0.10nm(格子像)
0.18nm(粒子像)
加速電圧 300kV、200kV*1、100kV*1
倍率ZOOM 1,000~1,500,000倍
SA 4,000~500,000倍
LOW MAG 200~500倍
電子銃フィラメント LaB6直流加熱方式
フィラメント交換 自動ガンリフト機構
高圧ケーブル 抵抗ケーブル
照射系レンズ構成 4段レンズ方式
可動絞り機構 4段切替クリックストップ方式
結像系レンズ構成 5段レンズ方式
対物レンズ可動絞り 4段切替クリックストップ方式
制限視野可動絞り 4段切替クリックストップ方式
電子回折カメラ長 250~3,000mm
試料室試料ステージ ユーセントリック5軸ハイパーステージ
試料サイズ 3mmΦ
試料位置表示 オートドライブ機能・試料移動トレース機能
試料傾斜角 α:±15°以上、β:±15°以上
試料汚染防止 レンズ周辺包囲方式
ベーキング機能 マイルドベーキング機能内蔵
観察室蛍光版 主蛍光板:110mm
双眼ルーペ 倍率:7.5倍
カメラ室視野切替 1、2視野(フル/ハーフ)随時切替
フィルム装填数 25枚/マガジン×2セット
制御系/GUI  OS:Windows®
モニター表示 19型モニタ
機能 データベース、測長機能、画像処理
デジタルCCDカメラ*3カメラカップリング レンズカップリング
有効画素数 1,024×1,024ピクセル
A/D分解能 12ビット
真空排気系電子銃部 イオンポンプ 60L/s
鏡体部 ターボ分子ポンプ 260L/s
観察室、カメラ室 油拡散ポンプ 280L/s
油回転ポンプ 135L/min 3式
大きさ 本体: 2,140(W)×1,610(D)×2,680(H)(mm)
DC電源: 535(W)×920(D)×1,820(H)(mm)
レンズ電源: 535(W)×930(D)×1,500(H)(mm)
HVタンク: 470(W)×650(D)×730(H)(mm)
油回転ポンプ: 235(W)×526(D)×310(H)(mm)×3台
エアコンプレッサ:(オプション) 560(W)×280(D)×530(H)(mm)
*
:上記仕様は300kV時のものです
*1
:オプション
*2
:倍率保証はオプションです
*3
:1k×1kデジタルCCDカメラオプション付属の時の仕様です

据付条件

項目内容
室温 15~25℃
湿度 40~60%RH
電源 単相AC200V 100A
接地 D種接地(100Ω以下)
冷却水 29,300kJ/h以上の冷却水循環装置(オプション)をご用意ください

設置例

日立透過電子顕微鏡 H-9500の設置例

観察例

材料

Si3N4 高分解能TEM像

Si3N4 high resolution TEM image
Accelerating voltage : 300 kV

TiO2 ガス導入試料加熱 in situ TEM観察

TiO2 gas-injecting in situ TEM observation
Temperature : 380°C
Atmosphere : Air@6 Pa on specimen

Pt/グラファイトカーボン 高分解能TEM像

Pt/Graphite carbon high resolution TEM image
Accelerating voltage : 100 kV

半導体

Siデバイス 高分解能TEM像

Si device high resolution TEM images

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