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Hitachi

日立ハイテクノロジーズ

収差補正による高分解能観察・高感度分析をすべてのユーザーに

電子顕微鏡の性能上の制約となっていた球面収差を補正することにより、高分解能観察と高感度分析が同時に行なえます。
日立ハイテクでは、よりシンプルな操作で原子レベルの高分解能観察・高感度分析を実現する、というコンセプトのもと、球面収差補正器を自社開発しました。球面収差補正により、大きな収束角度で微小な電子線プローブが得られることになり、分解能と分析性能を同時に向上させることができます。
HDシリーズの特長である、多彩な評価解析機能や優れた操作性はそのままに、球面収差補正器の搭載により、HD-2700が、また新たな可能性を切り開きます。
*: 左写真:HD-2700形(収差補正機能つき)

価格:お問い合わせください

取扱会社:株式会社 日立ハイテクノロジーズ

特長

高分解能STEM観察

HAADF-STEM像0.136nm、FFT像0.105nm保証(球面収差補正つき)。
BF像0.204nm保証(球面収差補正なし)。

高速・高感度EDX分析:プローブ電流増大(当社従来機比 約10倍)

短時間での元素分布像取得。
微弱シグナル元素の検出に威力を発揮。
日立製球面収差補正器を搭載。特別な技術を必要とすることなく、収差補正時間も短縮
“自動収差補正機能”を搭載することで、オペレータスキルによらず、装置本来の性能を容易に引き出すことが可能。
(* HD-2700形 球面収差補正つき をご選択の場合)

トータルソリューション

日立FIBとのシステム構築により、前処理からデータ取得・解析までをご提供。

仕様

項目内容
球面収差補正つき球面収差補正なし
像分解能 0.136nmをHAADF像で保証
0.105nmを情報限界(FFT)で保証
(倍率 8,000,000倍)
0.204nm 保証
(倍率 4,000,000倍)
倍率 100~10,000,000倍
最高加速電圧 200kV(*低加速はオプション)
映像信号明視野STEM:位相コントラスト像(TE像)
暗視野STEM:Zコントラスト像(ZC像)
二次電子像(SE像)
電子回折像
(標準付属CCDカメラ)
オプション
特性X線像 オプション(EDX)
EELS像 オプション(日立製、Gatan社製)
電子光学系電子源 冷陰極電界放出形 冷陰極電界放出形
ショットキー電子源
照射レンズ系 2段電子レンズ縮小方式
収差補正器 多極子/トランスファーレンズ方式 -
対物レンズ 高分解能レンズ 標準レンズ
走査コイル 2段電磁偏向方式
ZC検出角設定 投射電子レンズ方式
電磁視野移動 ±1µm
試料微動移動範囲 X、Y=±1mm、Z=±0.4mm
試料傾斜 ±18° ±30°
特殊ホルダ 3D解析ホルダ、雰囲気遮断ホルダ 等

 

球面収差補正SEM像

HDシリーズでは、二次電子検出器の搭載により、試料内部情報を含まない、表面の正確な形態把握、測長が可能です。
球面収差補正技術の採用により、より細いプローブによる分解能向上に加え、試料表面に忠実なSEM観察が可能になりました。


LSIデバイスの断面SEM像
(加速電圧:200kV、試料厚:1µm)


二次電子検出の原理図

大立体角EDX検出器

液体窒素レスの100 mm2SDD(Silicon Drift Detector)を搭載することにより、従来比数倍の高い感度で、元素分析ができるようになりました。
元素分析が、より短時間にハイスループットで行えるようになります。

半導体MOSトランジスタのEDSマッピング例

装置:HD-2700B(球面収差補正器なし)
取得時間:10秒/フレーム、再生速度:×5倍速

アプリケーションデータ

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