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株式会社 日立ハイテクノロジーズ

安定した超高分解能と新たな解析手法を併せ持った、次世代FE-TEMが登場!

定評ある、高輝度冷陰極電界放出電子銃と300kVの高加速電圧の組み合わせにより、超高分解能観察と高感度分析を両立しました。
また、ナノ電子線回折*1、位置分解型EELS*1in situ SEM/STEM観察*1により、従来にない高精度でユニークな解析を実現します。

*1
:オプション

Pt/C触媒のin situ SEM/STEM観察例
空気の導入につれて、数nmのPt粒子がカーボン担体表面から埋没し、内部で凝集しながら、粒子成長していく様が観察されています(左:SEM像、右:ADF-STEM像)。

価格:お問い合わせください

取扱会社:株式会社 日立ハイテクノロジーズ

特長

高輝度冷陰極電界放出形電子銃(Cold FE)

高輝度と高エネルギー分解能が同時に得られる、冷陰極電界放出形電子銃がナノオーダー解析の新境地を開きます。
その高い干渉性は超高分解能観察や電子線ホログラフィー*1にも大いに寄与します。

300kVの高加速電圧

厚い試料でも高分解能観察が可能です。金属、セラミックスなど電子線が透過しにくい試料の観察にも威力を発揮します。

新たな解析手法

新しく採用した、ナノ電子線回折*1、位置分解型EELS*1in situ SEM/STEM観察*1が高度化・多様化する解析ニーズにお応えします。

FIB/NB*1とのホルダリンケージ

日立FIB/NB*1と試料ホルダを共通化することで、試料作製からTEM解析までの効率を大幅に改善します。また、3D解析ホルダ*1とSTEM*1の組み合わせによる多方向構造解析にも対応します。

優れた操作性

Windows®PCによるTEM/STEM*1制御、モータ駆動絞り、5軸モータ駆動ステージの採用により、操作性を向上しました。10分間の高圧昇圧、1分間の試料交換が高いスループットを実現します。

*1
:オプション

仕様

項目内容
電子源 W(310)冷陰極電界放出形
加速電圧 300kV、200kV*1、100kV*1
像分解能格子像 0.10nm
粒子像 0.19nm
インフォメーションリミット 0.13nm
倍率Low Magモード 200~500倍
High Magモード 2,000~1,500,000倍
像回転 ±5°以内(High Magモード、1,000,000倍以下にて)
最大試料傾斜角 ±15°
カメラ長 300~3,000mm
*
:上記仕様は300kV時のものです
*1
:オプション

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