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Hitachi

株式会社 日立ハイテクノロジーズ

突出した本体性能とユニークな解析手法を併せ持った、ハイエンドFE-TEM

高輝度冷陰極電界放出電子銃と300 kVの高加速電圧の組合せにより、高分解能観察と高感度分析を両立しました。300 kVの高加速電圧により、厚い試料でも高分解能観察が可能です。また、位置分解型EELS*1、ナノ電子線/制限視野回折*1等、従来にないユニークな解析手法を実現しています。さらに、差動排気強化オプション*1により、FE-TEMながらガス導入に対応し、TEM像に加え、同時取得のSEM/STEM像でも、in situその場観察が可能です。
日立FIB*1と試料ホルダーを共通化することで、試料前処理から評価まで効率よく行えます。

*1
:オプション

Pt/C触媒のin situ SEM/STEM観察例
空気の導入につれて、数nmのPt粒子がカーボン担体表面から埋没し、内部で凝集しながら、粒子成長していく様が観察されています(左:SEM像、右:ADF-STEM像)。

価格:お問い合わせください

取扱会社:株式会社 日立ハイテクノロジーズ

特長

高輝度・高安定 冷陰極電界放出形電子銃(Cold FE)

電子銃の高真空化により、高輝度と高エネルギー分解能が同時に得られる、冷陰極電界放出形電子銃がより安定してご利用いただけます。その高い干渉性は、超高分解能観察や電子線ホログラフィー*1*2にも大いに寄与します。

TEMコレクタ*1*2、ワイドギャップ対物レンズ*1にも対応

CEOS社製 B-COR TEMコレクタ*1*2を搭載することで、TEM分解能の向上が可能です。超高分解能観察やホログラフィー*1*2、その場観察*1などのアプリケーションに威力を発揮します。また、ご用途により、ワイドギャップ対物レンズ*1の選択も可能です。

ホログラフィー*1*2の実用的アプローチ手法に対応

観察領域(倍率)と空間周波数(分解能)を独立制御できる、結像系ダブルバイプリズム*1*2や、試料上の観察領域と参照領域を離して設定できる、照射系バイプリズム*1*2をそれぞれ選択可能です。また、ローレンツステージ*1*2にも対応し、標準試料ステージと合せ、ダブルステージ対応が可能です。

高平行度なビームによるナノビーム/制限視野回折*1

300 kV冷陰極電界放出形電子銃による高平行度なビームにより、よりシャープな回折スポットが得られます。また、制限視野回折*1では、絞り径を極小にすることで*1、10 nm径程度までのエリアを選択可能で、ナノエリアでの制限視野回折*1を実現します。

位置分解型EELS*1

結像系にスリット絞りを組み込むことで、TEM像モードで、EELSのライン分析が可能性です。ゼロロス、コアロスを同時に取得する為、エネルギードリフトがなく、エネルギー分解能が必要とされる結合状態分析に非常に有効です。

ガス導入その場観察*1に対応

照射系の差動排気を強化することで 、試料室へのガス導入が可能です。ガス導入による試料の酸化・還元等の化学変化の様子を、リアルタイムでその場観察いただけます。さらに、SEM/STEM同時観察いただくことで、3次元的な試料構造の把握も可能となります。

各種日立製高機能ホルダ*1に対応

日立FIB共用、3D解析、雰囲気遮断、ガス導入試料加熱、等の各種ホルダ*1に対応。

*1:
オプション
*2:
特殊本体改造

仕様

項目内容
電子源 W(310)冷陰極電界放出形
加速電圧 300kV、200kV*1、100kV*1
像分解能格子像 0.10nm
粒子像 0.19nm
インフォメーションリミット 0.13nm
倍率Low Magモード 200~500倍
High Magモード 2,000~1,500,000倍
像回転 ±5°以内(High Magモード、1,000,000倍以下にて)
最大試料傾斜角 ±15°
カメラ長 300~3,000mm
*
:上記仕様は300kV時のものです
*1
:オプション

観察例

材料

Au単結晶[110] 高分解能TEM像

Au single crystal [110] high resolution TEM image
Accelerating voltage : 300 kV

MWCNT 高分解能TEM像

MWCNT high resolution TEM image
Accelerating voltage : 100 kV

グラフェン 高分解能TEM像

Graphene high resolution TEM image
Accelerating voltage : 60 kV

Pt/C触媒 ガス導入試料加熱 in situ SEM/STEM観察

Pt/C catalyst in situ gas-injecting SEM & STEM observation
Temperature : 200°C
Gas: H2, O2

ガス雰囲気 EELSスペクトル分析

Gas atmosphere EELS spectrum acquisition
Accelerating voltage : 300 kV
Gas : H2, O2, Air

クロシドライト(アスベスト) 高分解能ローレンツTEM像

Crocidolite (asbestos) fiber HR Lorentz TEM image
Accelerating voltage : 300 kV
Instrument : HF-3300S WG-P.P. with B-COR TEM corr.
Data courtesy of CEMES-CNRS, France

Feナノキューブ 高分解能ローレンツ再構成位相像

Fe nanocube HR Lorentz phase reconstructed image
Accelerating voltage : 300 kV
Instrument : HF-3300S WG-P.P. with B-COR TEM corr.
Data courtesy of CEMES-CNRS, France

半導体

22 nmノードFinFET 断面TEM像

Gas atmosphere EELS spectrum acquisition
Accelerating voltage : 300 kV
Prepared by NX2000 1 kV Ar ion milling

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