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Hitachi

株式会社 日立ハイテクノロジーズ

TMシリーズ専用3次元計測ソフトウェア Hitachi map 3D

3次元像で高さ、粗さ測定

4分割反射電子検出器を使用することで資料の傾斜等を行うことなく、3次元像を構築、高さ、粗さを測定できます。

価格:お問い合わせください

取扱会社:株式会社 日立ハイテクノロジーズ

特長

3次元計測ソフトウェア Hitachi map 3Dの概要

3次元計測ソフトウェア Hitachi map 3Dの概要

仕様

項目内容
インポート機能 4素子画像データ自動選択・読み込み機能
測定性能 深さ精度±20%以下(参考値)
キャリブレーション、試料および観察条件に依存
検出可能角度±60°以下(参考値)
TM4000用±50°以下(参考値)
測定機能 任意の場所で断面プロファイル表示
2点間のX、Y、長さ、角度など各種情報表示、表面積・体積測定
断面プロファイル上での2点間のX、Y、Z、長さ他各種測定
簡易表面粗さ(線粗さ、面粗さ)測定
ベースライン補正機能(直線、曲線)、レベリング他各種校正
切断面、等高線、鳥瞰図表示、疑似カラー表示
レイアウト、テンプレート機能、複数枚画像の合成
3次元表示機能 回転、ズーム、各種レンダリング処理
表示履歴動画記録機能
出力機能 レポート・画像:RDF、RTF、PNG、JPG、GIF、TIF、BMP、EMF
三次元像/動画:SUR、3MF、STL、WRL、TXT、X3D/WMV、AVI

 

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