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Hitachi

株式会社 日立ハイテクノロジーズ

CADナビゲーションシステム(CAD-Navi)を使えば、SEMもしくはFIBで観察しているLSIの配線が、CADデータのどの配線に対応するのかを確認することができます。
CADデータ上の座標位置を指定することにより、装置のステージがその座標に連動し、対応する箇所のSEM像(FIBの場合SIM像)を表示します。
またCADデータとSEM像を重ね合わせて表示(オーバレイ表示)ができますので下層配線の位置確認が容易に行なえ、解析作業の大幅な効率アップが望めます。

価格:お問い合わせください

取扱会社:株式会社 日立ハイテクノロジーズ

システム構成例

FE-SEM/FIB装置とCADナビゲーション(CAD-Navi)とのシステム例


CAD-Navi構成品目:NASFA(ソフト)/ワークステーション/PC

FIB


SIM像


CADデータ


オーバーレイ表示(SIM像+CADデータ)

S-4800


オーバーレイ表示(SEM像+CADデータ)


CADデータ

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