ページの本文へ

Hitachi

株式会社 日立ハイテクノロジーズ

半導体デバイス内部配線、材料、電子部品の電気特性測定とEBAC(電子ビーム吸収電流)解析用に開発されたSEM式プロービングシステムです。

価格:お問い合わせください

取扱会社:株式会社 日立ハイテクノロジーズ

特長

  • 日立独自の高性能な各種EBACアンプ(特許取得)を搭載し、配線の断線不良はもちろん、高抵抗の配線不良の検出が可能となります。また、周波数帯域可変の機能により、高速レートでのEBAC画像の観察が可能になりました
  • 多彩な画像処理やカラー処理機能を有する、操作性に優れたGUIを搭載しました
  • 低加速電圧での試料観察用として、コールドFE電子銃を採用しました
  • 高精度のプローバユニットを4本採用(4探針)し、微小部へのプロービング、配線への直接プロービングが可能です
  • CCDカメラでの横方向の像観察により、探針のZ方向の粗調整が可能です
  • * nanoEBACは、株式会社日立ハイテクノロジーズの日本国内における登録商標です。

仕様

項目内容
プローブユニットユニット数(探針数) 4
駆動方式 ピエゾ素子使用
微動範囲 5µm(X、Y軸)
粗動範囲 6mm(X、Y軸)
プローバーシフト機構 プローバの相対位置を移動可能
試料ステージ/
ベースステージ
試料サイズ 25mm×25mm、厚1mm以下
移動ポジション 測定位置、試料交換位置
試料交換 予備排気室付き
プローバ
ナビゲーション
プローブ位置へのステージ移動
測定位置記憶
探針粗調整CCD像表示機能 横方向からの観察像表示
電子光学系電子銃 冷陰極電界放出形電子銃
加速電圧 0.5~30kV
分解能 15nm(加速電圧2kV、WD=15mm)
イメージシフト ±100µm以上(2kV、WD=15mm)
EBACアンプ/
画像表示
アンプ種 Currentアンプ/Differentialアンプ
画像表示 SEM像/EBAC像
単独/並列/重ね合わせ表示
画像処理 白黒反転表示、カラー表示機能、明るさ調整、スロースキャン積算、ベルトスキャン
大きさ・重さ本体 1,100(W)×1,550(D)×1,750(H)(mm)
850kg
ディスプレイ 1,000(W)×1,005(D)×1,200(H)(mm)
265kg

据付条件

項目内容
室温 15~25℃
湿度 60%以下
電源 AC100V±10%、5kVA(M5用圧着端子)
接地 D種接地(100Ω以下)

測定例

(1)
EBACにより配線ネットを可視化。

(2)
加速電圧を変える事で目的とする上部配線だけを可視化。


(3)
(1)と(2)をカラー処理で重ね合わせることによりM2とM3を見やすく表示。

サンプル:Al 4層配線
アンプ種:電流アンプ
試料ご提供:株式会社ルネサステクノロジ

サンプル:Cuビアチェーン
アンプ種:差動アンプ

関連製品