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Hitachi

株式会社 日立ハイテクノロジーズ

できる限り大きな試料をできる限りそのままの姿で。
製造業や研究開発に従事する多くの方の声をコンセプトに、日立は300 mm径試料の搭載、110 mm厚さ試料の観察を可能にした低真空SEMを開発しました。
定評ある電子光学系と制御系、新設計の大型試料室と大型5軸モータドライブステージを組み合わせたS-3700Nは、大型試料観察・分析の新基準をご提案します。

価格:お問い合わせください

取扱会社:株式会社 日立ハイテクノロジーズ

特長

走査電子顕微鏡(SEM)の観察や分析は、学術研究だけでなく、さまざまな産業においてもより幅広い分野に拡大しており、観察や分析の対象となるサンプルは広がっています。
S-3700Nは、これらの幅広いアプリケーションへの対応するために、標準構成で直径300 mm、高さ110 mmのサンプルを搭載できるサンプルチャンバーを持ち、二次電子検出器、4分割+1素子の反射電子(BSE)検出器、低真空モードが付属しています。
これにより、従来のSEMで要求されていた帯電防止用の金属コーティングを必要とせずに、自然な表面状態で大きな試料を観察できます。
また、幅広いアプリケーションをサポートするEDX、WDX、EBSP、チャンバースコープ、クールステージなどのアクセサリーを搭載できるポートも多数準備しております。

  • 最大300 mm径試料を搭載可能とし、さらにEDX/WDX/EBSP*1を同時装着可能な大型分析試料室を標準搭載
  • 最大203 mm径のワイドレンジ観察、さらに110 mm厚さ試料の観察/EDX分析を可能にした大型5軸モータドライブステージ
  • モニタ全面に高精細ライブ像を表示できる全面表示機能、異なる試料情報を同時表示できる2画像リアルタイム表示機能や信号ミキシング機能を搭載
  • 絶縁物試料の無処理観察に有効な低真空モードを標準装備
  • 視野探しに有効な高速スキャンに対応できる、新型半導体反射電子検出器を標準搭載
  • ターボ分子ポンプの採用により、高スループット/省スペース/省電力*2を実現
*1:
各社製オプション
*2:
当社比

仕様

項目内容
二次電子像分解能 3.0nm保証(高真空モード)(30kV)
反射電子像分解能 4.0nm保証(低真空モード)(30kV)
倍率 5~300,000倍
加速電圧 0.3~30kV
試料ステージX 0~150mm
Y 0~110mm
Z 5~65mm
R 360°
T -20~90°
最大試料寸法 300mm径
最大観察可能範囲 203mm径(XYR併用)
最大試料厚さ 110mm(WD=10mm)

観察例

半導体

大型チャンバーには直径300 mmの試料を搭載可能です。蒸着なしで大きな絶縁物試料を直接観察・分析することができます。

プリント基板上のIC

試料:プリント基板上のIC

高さ110 mmまでの試料を搭載することができ、最適な分析位置でEDX分析ができます。

研磨盤

試料:研磨盤

材料

低真空BSE像と低真空二次電子像との併用により、試料の組成情報と微細形状の比較観察が可能です。

蛍光材料

試料:蛍光材料

ガラス繊維複合材料

試料:ガラス繊維複合材料

生物

冷却ステージを使用し、試料を0~-20℃の低温に保ち含水量の蒸発を最小限に抑えることで生物材料、植物、食品およびエマルジョンなどの観察が可能です。
試料を変形させることなく、数十分から数時間観察および分析することができます。
冷却ステージは、電子線に敏感な試料の観察にもお勧めです。

常温

常温
観察開始10分後、水分の蒸発による試料の収縮が見られます。

-20°C

-20°C
観察開始10分後、収縮がほとんど見られません。

試料:梅の花弁

技術機関誌 SI NEWS

弊社製品を使用した社内外の研究論文、技術情報、アプリケーションおよび新製品情報を公開しています。

アプリケーションデータ

SEMの測定例を紹介します。

セミナー

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電子顕微鏡により忠実に再現した、金属、鉱物、生物などの造形の美をコンピュータのグラフィック技術により、さらに美しく仕上げた写真集です。

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年表で見る日立の電子顕微鏡の歩みを紹介します。

田中SEM研究所通信

電子顕微鏡の観察に関するポイントなど田中先生の「秘伝」を伝授いただきました。

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