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Hitachi

株式会社 日立ハイテクノロジーズ

できる限り大きな試料をできる限りそのままの姿で。
製造業や研究開発に従事する多くの方の声をコンセプトに、日立は300mm径試料の搭載、110mm厚さ試料の観察を可能にした低真空SEMを開発しました。
電子光学系と制御系には、世界中で好評いただいているS-3400Nの機能を踏襲。
これに新設計の大型試料室と大型5軸モータドライブステージを組み合わせたS-3700Nが、大型試料観察・分析の新基準をご提案します。

価格:お問い合わせください

取扱会社:株式会社 日立ハイテクノロジーズ

特長

  • 最大300mm径試料を搭載可能とし、さらにEDX/WDX/EBSP*1を同時装着可能な大型分析試料室を標準搭載
  • 最大203mm径のワイドレンジ観察、さらに110mm厚さ試料の観察/EDX分析を可能にした大型5軸モータドライブステージ
  • S-4800*2、S-3400N*3の操作GUIを踏襲し、日立SEMの操作互換性を実現
  • モニタ全面に高精細ライブ像を表示できる全面表示機能、異なる試料情報を同時表示できる2画像リアルタイム表示機能や信号ミキシング機能を搭載
  • 絶縁物試料の無処理観察に有効な低真空機能を標準装備
  • 視野探しに有効な高速スキャンに対応できる、新形半導体反射電子検出器を標準搭載
  • ターボ分子ポンプの採用により、高スループット/省スペース/省電力*4を実現
*1:
各社製オプション
*2:
日立超高分解能電解放出形走査電子顕微鏡
*3:
日立熱電子銃形走査電子顕微鏡
*4:
当社比

仕様

項目内容
二次電子像分解能 3.0nm保証(高真空モード)(30kV)
反射電子像分解能 4.0nm保証(低真空モード)(30kV)
倍率 5~300,000倍
加速電圧 0.3~30kV
試料ステージX 0~150mm
Y 0~110mm
Z 5~65mm
R 360°
T -20~90°
最大試料寸法 300mm径
最大観察可能範囲 203mm径(XYR併用)
最大試料厚さ 110mm(WD=10mm)

 

技術機関誌 SI NEWS

弊社製品を使用した社内外の研究論文、技術情報、アプリケーションおよび新製品情報を公開しています。

アプリケーションデータ

SEMの測定例を紹介します。

セミナー

電子顕微鏡・FIBなどに関するセミナーを紹介します。

ナノアート

電子顕微鏡により忠実に再現した、金属、鉱物、生物などの造形の美をコンピュータのグラフィック技術により、さらに美しく仕上げた写真集です。

日立電子顕微鏡の歩み

年表で見る日立の電子顕微鏡の歩みを紹介します。

田中SEM研究所通信

電子顕微鏡の観察に関するポイントなど田中先生の「秘伝」を伝授いただきました。

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日立のSEM、TEMで撮影した私たちの身の回りにいる生物、化粧品、繊維などの極微の世界をミクロ先生が紹介します。

 
 

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