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株式会社 日立ハイテクノロジーズ

高画質は、さらなる高みへ

高画質化によるSEM解析力や操作性の向上を目的に、日立ハイテクのコア・コンピタンスである"匠の技術"を集結。
“分解能7nm@加速電圧3kV”を実現した電子光学系や、ライブによるステレオSEM像観察を実現した「ライブステレオ観察機能」*1、さらなる高感度化を実現した「UVD(高感度低真空検出器)」*1などを搭載したSU3500が、観察・分析の新基準をご提案します。

*1:
オプション

価格:お問い合わせください

取扱会社:株式会社 日立ハイテクノロジーズ

特長

  • 試料最表面の微細形状観察や、試料ダメージの軽減に有効な、低加速電圧観察時の分解能を向上
  • 速い走査速度でノイズの少ない観察を実現した、新設計の電子光学系と信号処理技術
  • 従来機比*2で約11秒の時間短縮*3を実現した、高速オート機能
  • 低真空における試料最表面の形状観察に優れた「UVD(高感度低真空検出器)」*4
  • ライブによるステレオSEM像観察を実現した「ライブステレオ観察機能」*4
*2:
日立SEM S-3400N比
*3:
観察条件により、時間は変動します
*4:
オプション

仕様

項目内容
二次電子像分解能 3.0nm(加速電圧30kV、WD=5mm、高真空モード)
7.0nm(加速電圧3kV、WD=5mm、高真空モード)
反射電子像分解能 4.0nm(加速電圧30kV、WD=5mm、低真空モード)
10.0nm(加速電圧5kV、WD=5mm、高真空モード)
倍率 ×5~×300,000(写真倍率*5
×7~×800,000(実表示倍率*6
加速電圧 0.3~30kV
低真空度設定 6~650Pa
最大試料寸法 200mm径
試料ステージX 0~100mm
Y 0~50mm
Z 5~65mm
R 360°
T -20~90°
最大観察可能範囲 130mm径(R併用)
最大試料厚さ 80mm(WD=10mm)
モータドライブ 5軸標準
電子光学系電子銃 プリセンタード カートリッジタイプ
タングステンヘアピン フィラメント
対物ガラス絞り 4孔可動絞り
検出系 二次電子検出器
高感度半導体反射電子検出器
EDX分析WD 10mm(T.O.A=35°)
画像表示OS Windows®7(OSは変更することがあります)
画像表示モード 大画面表示モード(1,280×960画素)
1画面表示モード(800×600画素)
2画面表示モード(800×600画素)
4画面表示モード(640×480画素)
信号ミキシング機能
排気系方法 全自動排気(ニューマチックバルブ)
ターボ分子ポンプ 261L/s. 1台
油回転ポンプ 135L/min.(162L/min.)1台 ( )は60Hz
*5:
127mm×95mm(4×5写真サイズ)を表示サイズとして倍率を規定
*6:
345mm×259mm(1,280×960画素表示)を表示サイズとして倍率を規定

観察例


試料:樹脂中のフィラー
加速電圧:1kV
倍率:1,000倍


試料:酸化チタン粒子
加速電圧:3kV
倍率:15,000倍 導電処理なし
試料ご提供:東北大学 多元物質科学研究所 垣花眞人 様

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