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株式会社 日立ハイテクノロジーズ

高画質は、さらなる高みへ

高画質化によるSEM解析力や操作性の向上を目的に、日立ハイテクのコア・コンピタンスである"匠の技術"を集結。"分解能7 nm@加速電圧3 kV"を実現した電子光学系や、ライブによるステレオSEM像観察を実現した「ライブステレオ観察機能」*1、さらなる高感度化を実現した「UVD(高感度低真空検出器)」*1などを搭載したSU3500が、観察・分析の新基準をご提案します。

*1:
オプション

価格:お問い合わせください

取扱会社:株式会社 日立ハイテクノロジーズ

特長

SU3500走査電子顕微鏡は、革新的な電子光学系および信号検出システムを備えており、高画質観察と高分析性能を提供します。生物試料や先端材料を含む幅広いアプリケーションに向けて、最適なSEM解析を支援します。

  • 試料最表面の微細形状観察や、試料ダメージの軽減に有効な、低加速電圧観察時の分解能を向上
  • 速い走査速度でノイズの少ない観察を実現した、新設計の電子光学系と信号処理技術
  • 従来機比*2で約11秒の時間短縮*3を実現した、高速オート機能
  • 低真空における試料最表面の形状観察に優れた「UVD(高感度低真空検出器)」*4
  • ライブによるステレオSEM像観察を実現した「ライブステレオ観察機能」*4
  • 安価なメンテナンスコスト、連続通電不要と高い経済性
*2:
日立SEM S-3400N比
*3:
観察条件により、時間は変動します
*4:
オプション

低加速電圧観察および低真空観察性能

最新のUVD検出器と組み合わせた日立の「Hex-Bias」プローブ電流最適化技術は、低加速電圧および低真空条件下でも優れた表面観察を可能にします。

ヴィンカ(ツルニチニチソウ)の低真空UVD像
ヴィンカ(ツルニチニチソウ)の低真空UVD像

使用後のシーリングテープの低真空UVD像
使用後のシーリングテープの低真空UVD像

ライブステレオ観察機能

傾斜ビームスキャン技術により、SEM像のライブ3D観察が可能になります。

甲殻類の3Dライブイメージ
甲殻類の3Dライブイメージ

真鍮破断面の3Dライブイメージ
真鍮破断面の3Dライブイメージ

繊維の3Dライブイメージ
繊維の3Dライブイメージ

ラット腎臓の3Dライブイメージ
ラット腎臓の3Dライブイメージ
試料ご提供:北里大学 医学部 根本 典子 先生

 

仕様

項目内容
二次電子像分解能 3.0nm(加速電圧30kV、WD=5mm、高真空モード)
7.0nm(加速電圧3kV、WD=5mm、高真空モード)
反射電子像分解能 4.0nm(加速電圧30kV、WD=5mm、低真空モード)
10.0nm(加速電圧5kV、WD=5mm、高真空モード)
倍率 ×5~×300,000(写真倍率*5
×7~×800,000(実表示倍率*6
加速電圧 0.3~30kV
低真空度設定 6~650Pa
最大試料寸法 200mm径
試料ステージX 0~100mm
Y 0~50mm
Z 5~65mm
R 360°
T -20~90°
最大観察可能範囲 130mm径(R併用)
最大試料厚さ 80mm(WD=10mm)
モータドライブ 5軸標準
電子光学系電子銃 プリセンタード カートリッジタイプ
タングステンヘアピン フィラメント
対物ガラス絞り 4孔可動絞り
検出系 二次電子検出器
高感度半導体反射電子検出器
EDX分析WD 10mm(T.O.A=35°)
画像表示OS Windows®7(OSは変更することがあります)
画像表示モード 大画面表示モード(1,280×960画素)
1画面表示モード(800×600画素)
2画面表示モード(800×600画素)
4画面表示モード(640×480画素)
信号ミキシング機能
排気系方法 全自動排気(ニューマチックバルブ)
ターボ分子ポンプ 261L/s. 1台
油回転ポンプ 135L/min.(162L/min.)1台 ( )は60Hz
*5:
127mm×95mm(4×5写真サイズ)を表示サイズとして倍率を規定
*6:
345mm×259mm(1,280×960画素表示)を表示サイズとして倍率を規定

観察例

半導体

PCB(Printed Circuit Board)の断面

PCB(Printed Circuit Board)の断面
加速電圧:5 kV
真空度:30 Pa
倍率:150倍
信号:BSE、金属コーティングなし

PCB(Printed Circuit Board)の断面
加速電圧:3 kV
真空度:20 Pa
倍率:5,000x
信号:BSE、金属コーティングなし

材料

酸化亜鉛

酸化亜鉛
加速電圧:5 kV
倍率:30,000倍
信号:SE、金属コーティングなし

酸化チタン粒子

酸化チタン粒子
加速電圧:3 kV
倍率:15,000倍
信号:SE、金属コーティングなし
試料ご提供:東北大学 垣花 眞人 先生

タブレット(菓子類)

タブレット(菓子類)
加速電圧:1.5 kV
倍率:10,000倍
信号:SE、金属コーティングなし

樹脂中のフィラー(ガラス繊維)

樹脂中のフィラー(ガラス繊維)
加速電圧:1 kV
真空度:50 Pa
倍率:1,000倍
信号:BSE、金属コーティングなし

金イソシアニド錯体

金イソシアニド錯体
加速電圧:0.8 kV
倍率:2,100倍
信号:SE、金属コーティングなし

粘着テープ(伸張)

粘着テープ(伸張)
加速電圧:3 kV
真空度:30 Pa
倍率:10,000倍
信号:UVD、金属コーティングなし

生物

Helicobacter bills

Helicobacter bills
加速電圧:2 kV
倍率:17,000倍
信号:SE、OsO4蒸着実施
試料ご提供:愛知学院大学 河村 好章 先生

乳酸菌

乳酸菌
加速電圧:1 kV
倍率:10,000倍
信号:SE、イオン液体処理

 

トピックス

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