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Hitachi

株式会社 日立ハイテクノロジーズ

SU5000 & EM Wizardが創造するFE-SEMの新たな世界。

SEMを初めて使用されるユーザーに対しても「美しい像が得られる体験」、そして一人で習熟・熟達していける「成功体験」、熟達したユーザーにも豊富な機能で提供する新たな「体験」。
EM Wizardはさまざまな“User Experience”を提供し、新たなSEMの楽しさ、面白さを拓きます。

価格:お問い合わせください

取扱会社:株式会社 日立ハイテクノロジーズ

特長

あらゆるユーザーに高分解能・再現性・スループットを提供する、新開発ユーザーインターフェース「EM Wizard」

EMWizadのスタンダードモードでは使用される頻度の高い5つのビーム/検出器条件を用意。
選択画面から条件を選択することで光軸調整などの作業なしにベストな光学条件で画像を取得

スタンダードモード:条件選択画面
スタンダードモード:条件選択画面

試料位置表示をよりわかりやすく表示する「マルチファインダー」搭載

マルチファインダーを使用した試料位置の表示
マルチファインダーを使用した試料位置の表示。傾斜/回転に追随してSEM像やホルダ像が移動し、容易な視野探しをサポートします。

サンプルへの制限を極力低減したデザイン

  • 大型試料(~200 mmΦ、~80 mmH)対応のドローアウト試料室を採用、試料室を開放しても対物絞りの汚染に配慮した構造です
  • 加熱・引張りステージなどの特殊アプリケーションにも簡便に対応可能
  • コニカル対物レンズにより、大型磁性体試料観察やEBSD測定もよりスムーズに行えます

強力な光学系・検出系

  • 低エネルギー観察時の分解能は1.6 nm@1 kV*1
  • 高真空/低真空ともに照射電流は最大200 nA*2
  • 形状・組成・結晶学的情報を抽出する新開発反射電子検出器搭載*3
*1:
EXリターディングモード+TOP検出器オプション搭載時
*2:
低真空モードはオプションです
*3:
反射電子検出器はオプションです(低真空モード構成では標準付属)

仕様

項目内容
保証分解能 1.2 nm(加速電圧30 kV)
3.0 nm(加速電圧1 kV)
2.0 nm(照射電圧1 kV:リターディングモード:オプション)
1.6 nm(照射電圧1 kV:EXリターディングモード:オプション)
3.0 nm(加速電圧15 kV:低真空モード:オプション)
倍率 写真倍率:10~600,000x
モニター倍率:18~1,000,000x
(800×600画素)
電子銃電子銃 ZrO/Wショットキーエミッション電子銃
加速電圧 0.5~30 kV(0.1 kVステップ)
照射電圧 0.1~20 kV(リターディングモード:オプション)
照射ビーム電流 最大200 nA
検出器 高真空用シンチレータ/ホトマルチプライヤー二次電子検出器(Lower検出器)
低真空モード*2 圧力可変範囲:10~300 Pa
試料ステージステージ制御 5軸モータ駆動
移動範囲 X:0~100 mm
Y:0~50 mm
Z:3~65 mm
T:-20~90°
R:360°
試料サイズ 最大~200 mmΦ、最高~80 mm
検出器オプション
  • 高真空用シンチレータ/ホトマルチプライヤー二次電子検出器(Top検出器)*1
  • 高感度低真空検出器(UVD)
  • リトラクタブル半導体形反射電子検出器(PD-BSD)*2
  • エネルギー分散型X線検出器(EDS)
  • 波長分散型X線検出器(WDS)
  • 後方散乱電子回折図形検出器(EBSD)
*1:
リターディングモードと組み合わせ
*2:
低真空モード付属の場合は標準検出器です

観察例

生物

ラット前脳

反射電子像:2 kV(切片試料)
反射電子像:2 kV(切片試料)

試料ご提供:自然科学研究機構 生理学研究所
大脳神経回路論研究部門
窪田 芳之 様

脊髄神経節ニューロン

二次電子像:5 kV
二次電子像:5 kV

試料ご提供:新潟大学大学院医歯総合研究所
甲賀大輔 様*、 牛木辰男 様

*:
現旭川医科大学 医学部 顕微解剖学分野

材料

マルチウォールカーボンナノチューブの表面微細構造

マルチウォールカーボンナノチューブの表面微細構造
二次電子像:照射電圧=0.5 kV/200 kX

ネオジム磁石断面

ネオジム磁石断面
反射電子像:2 kV

散乱角選択が可能な反射電子検出器を搭載。
組成と形状を弁別した像取得が可能です。
左:組成コントラスト主体で粒界相が明瞭に観察されています。
右:形状主体のコントラストにより微細な形状差が観察されています。

加熱ステージを使用してのその場観察

試料:金薄膜

試料ご提供:東京工業大学 機械制御システム専攻 吉野雅彦様 寺野元規 様

リチウムイオン材料の3D観察 SBF-SEMの材料科学への応用


視野領域 : 350 µm × 90 µm

3次元再構築像
橙:活物質、青:PvdF

半導体

Si上のn-GaN


貫通転位と原子ステップの観察
反射電子像:15 kV


試料ご提供:国立大学法人 名古屋工業大学
極微デバイス研究センター機能システム 教授
江川 孝志 様

 

トピックス

Scientific Instrument NEWS SI NEWSとは

・技術機関誌 SI NEWSの関連記事のご案内
1958年の創刊以来、SI NEWS(エスアイニュース)は、弊社製品を使用した社内外の研究論文、アプリケーションおよび新製品情報を公開しています。
ショットキー走査電子顕微鏡 SU5000の記事のご案内です。
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    日立ハイテクは、今回の「戦後日本のイノベーション100選」に選定された電界放出形電子顕微鏡をはじめ、今後も優れた技術・製品の開発を通じて、安心・安全で快適な社会の実現および世界の産業の発展に貢献していきます。
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SU5000が「2014年度 グッドデザイン賞」を受賞

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技術機関誌 SI NEWS

弊社製品を使用した社内外の研究論文、技術情報、アプリケーションおよび新製品情報を公開しています。

アプリケーションデータ

FE-SEMの測定例を紹介します。

セミナー

電子顕微鏡・FIBなどに関するセミナーを紹介します。

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電子顕微鏡により忠実に再現した、金属、鉱物、生物などの造形の美をコンピュータのグラフィック技術により、さらに美しく仕上げた写真集です。

日立電子顕微鏡の歩み

年表で見る日立の電子顕微鏡の歩みを紹介します。

田中SEM研究所通信

電子顕微鏡の観察に関するポイントなど田中先生の「秘伝」を伝授いただきました。