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Hitachi

株式会社 日立ハイテクノロジーズ

SU5000 & EM Wizardが創造するFE-SEMの新たな世界。

SEMを初めて使用されるユーザーに対しても「美しい像が得られる体験」、そして一人で習熟・熟達していける「成功体験」、熟達したユーザーにも豊富な機能で提供する新たな「体験」。
EM Wizardはさまざまな“User Experience”を提供し、新たなSEMの楽しさ、面白さを拓きます。

価格:お問い合わせください

取扱会社:株式会社 日立ハイテクノロジーズ

特長

あらゆるユーザーに高分解能・再現性・スループットを提供する、新開発ユーザーインターフェース「EM Wizard」

  • 必要時に装置をベストコンディションに回復できる自動軸調整機能(オートキャリブレーション)を搭載
  • 試料位置表示をよりわかりやすく表示する「マルチファインダー」搭載

サンプルへの制限を極力低減したデザイン

  • 大型試料(~200mmΦ、~80mmH)対応のドローアウト試料室を採用、排気開始から観察までに要する時間は、FE-SEM最高レベルの3分以内
  • アウトレンズ型対物レンズにより、大型磁性体試料観察やEBSD測定もよりスムーズに行えます

強力な光学系・検出系

  • 低エネルギー観察時の分解能は2.0nm@1kV*1
  • 高真空/低真空にかかわらず照射電流は最大200nA*2
  • 形状・組成・結晶学的情報を抽出する新開発反射電子検出器搭載*3
*1:
リターディングモード+TOP検出器オプション搭載時
*2:
低真空モードはオプションです
*3:
反射電子検出器はオプションです(低真空モード構成では標準付属)

仕様

項目内容
保証分解能 1.2nm(加速電圧30kV)
3.0nm(加速電圧1kV)
2.0nm(照射電圧1kV:リターディングモード*1
3.0nm(加速電圧15kV:低真空モード*2
倍率 写真倍率:10~600,000x
モニター倍率:18~1,000,000x
(800×600画素)
電子銃電子銃 ZrO/Wショットキーエミッション電子銃
加速電圧 0.5~30kV(0.1kVステップ)
照射電圧 0.1~2.0kV(リターディングモード*1
照射ビーム電流 最大200nA
検出器 高真空用シンチレータ/ホトマルチプライヤー二次電子検出器(Lower検出器)
低真空モード*2 圧力可変範囲:10~300Pa
試料ステージステージ制御 5軸モータ駆動
移動範囲 X:0~100mm
Y:0~50mm
Z:3~65mm
T:-20~90°
R:360°
試料サイズ 最大~200mmΦ、最高~80mm
検出器オプション
  • 高真空用シンチレータ/ホトマルチプライヤー二次電子検出器(Top検出器)*1
  • 高感度低真空検出器(UVD)
  • リトラクタブル半導体形反射電子検出器(PD-BSD)*2
  • エネルギー分散型X線検出器(EDS)
  • 波長分散型X線検出器(WDS)
  • 後方散乱電子回折図形検出器(EBSD)
*1:
リターディングモードと組み合わせ
*2:
低真空モード付属の場合は標準検出器です

SU5000が「2014年度 グッドデザイン賞」を受賞

日立ハイテクのショットキー走査電子顕微鏡 SU5000が、このたび2014年度グッドデザイン賞(主催:公益財団法人日本デザイン振興会)を受賞しました。

SU5000は使いやすさと安全性を追求しながら「体験」を提供するデザインに取り組んだ結果、特に「専門的な領域の製品であるが、ユーザーインターフェースが洗練されており操作方法のナビゲーションなど、ユーザビリティへの配慮が優れている。」として高く評価されました。

Topics

  • 「電界放出形電子顕微鏡」が「戦後日本のイノベーション100選」に選定
    「戦後イノベーション100選」は、公益社団法人発明協会が創立110周年を迎えたことを記念し、戦後日本で成長を遂げ、産業経済の発展に大きく寄与したイノベーションを選定したものです。
    日立ハイテクの「電界放出形電子顕微鏡」は、7月8日に行われた第一回発表において、戦後復興期から高度経済成長期までの38件のイノベーションの一つとして選定されました。
    日立ハイテクは、今回の「戦後日本のイノベーション100選」に選定された電界放出形電子顕微鏡をはじめ、今後も優れた技術・製品の開発を通じて、安心・安全で快適な社会の実現および世界の産業の発展に貢献していきます。
  • 「はやぶさ」が持ち帰った微粒子解析
    -日立電界放出形走査電子顕微鏡/キュレーション(惑星物質試料受け入れ)設備のご紹介-
    46億年前の太陽系の化石ともいわれる小惑星イトカワの微粒子。 地球物質の影響を遮断した環境でのナノ解析がスタートしました。

技術機関誌 SI NEWS

弊社製品を使用した社内外の研究論文、技術情報、アプリケーションおよび新製品情報を公開しています。

アプリケーションデータ

FE-SEMの測定例を紹介します。

セミナー

電子顕微鏡・FIBなどに関するセミナーを紹介します。

ナノアート

電子顕微鏡により忠実に再現した、金属、鉱物、生物などの造形の美をコンピュータのグラフィック技術により、さらに美しく仕上げた写真集です。

日立電子顕微鏡の歩み

年表で見る日立の電子顕微鏡の歩みを紹介します。

田中SEM研究所通信

電子顕微鏡の観察に関するポイントなど田中先生の「秘伝」を伝授いただきました。