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Hitachi

株式会社 日立ハイテクノロジーズ

SU-70は低加速高分解能観察に最適なセミインレンズ方式の対物レンズを採用し、さまざまな分析装置にも対応できるように大電流ショットキーエミッション電子銃と大型分析試料室を新開発しました。
一台の装置で低加速高分解能観察、STEM観察*、EDX*、WDX*、EBSP*など幅広い分析を可能にした、SU-70がFE-SEMの新しいスタイルをご提案します。

価格:お問い合わせください

取扱会社:株式会社 日立ハイテクノロジーズ

特長

超高分解能1.0nm/15kV、1.6nm/1kV(リターディング機能*使用時)

定評ある日立のセミインレンズにより超高分解能観察が可能

SE&BSEシグナル可変モード

抑制や組成コントラストのためのSE&BSE信号制御が可能

極低加速電圧・極表面観察

リターディング機能*により低加速電圧が100Vまで広がり高分解能極表面観察が可能

新開発ショットキー電子銃により最大プローブ電流100nAを実現

EDX/WDX/EBSPなど電子線を応用した分析装置に幅広く対応

FFモードによるEBSP分析

フィールドフリーモード(FFモード)により磁場に影響を受けないEBSP分析を実現

新開発の分析試料室

分析試料室はEDX/WDX/EBSPの同時装着と同時分析が可能

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オプション

Topics

  • 「電界放出形電子顕微鏡」が「戦後日本のイノベーション100選」に選定
    「戦後イノベーション100選」は、公益社団法人発明協会が創立110周年を迎えたことを記念し、戦後日本で成長を遂げ、産業経済の発展に大きく寄与したイノベーションを選定したものです。
    日立ハイテクの「電界放出形電子顕微鏡」は、7月8日に行われた第一回発表において、戦後復興期から高度経済成長期までの38件のイノベーションの一つとして選定されました。
    日立ハイテクは、今回の「戦後日本のイノベーション100選」に選定された電界放出形電子顕微鏡をはじめ、今後も優れた技術・製品の開発を通じて、安心・安全で快適な社会の実現および世界の産業の発展に貢献していきます。
  • 「はやぶさ」が持ち帰った微粒子解析
    -日立電界放出形走査電子顕微鏡/キュレーション(惑星物質試料受け入れ)設備のご紹介-
    46億年前の太陽系の化石ともいわれる小惑星イトカワの微粒子。 地球物質の影響を遮断した環境でのナノ解析がスタートしました。

技術機関誌 SI NEWS

弊社製品を使用した社内外の研究論文、技術情報、アプリケーションおよび新製品情報を公開しています。

アプリケーションデータ

FE-SEMの測定例を紹介します。

セミナー

電子顕微鏡・FIBなどに関するセミナーを紹介します。

ナノアート

電子顕微鏡により忠実に再現した、金属、鉱物、生物などの造形の美をコンピュータのグラフィック技術により、さらに美しく仕上げた写真集です。

日立電子顕微鏡の歩み

年表で見る日立の電子顕微鏡の歩みを紹介します。

田中SEM研究所通信

電子顕微鏡の観察に関するポイントなど田中先生の「秘伝」を伝授いただきました。