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Hitachi

株式会社 日立ハイテクノロジーズ

超高分解能FE-SEMへの幅広いニーズにお応えするSU8010の登場です。
日立ハイテク独自の多彩な信号検出系と優れた電子光学系の組合せにより、観察目的に合わせた最適なコントラストを提供し、実用的な超高分解能観察が可能です。 さらに大好評のリターディング機能を強化、照射電圧1.0kVで二次電子分解能1.3nmを実現しました。また、新制御系GUIと24.1型ワイドモニターにより、快適な操作環境・使いやすさも追求しています。

価格:お問い合わせください

取扱会社:株式会社 日立ハイテクノロジーズ

特長

  • 低加速電圧超高分解能観察(二次電子分解能1.3nm/照射電圧1.0kV)
  • 最表面情報を可視化する多彩な信号検出系
  • 新制御系GUIと24.1型ワイドモニターによる快適な操作環境
  • アプリケーションに合わせて機能を拡張する多彩なアクセサリー

仕様

仕様
項目内容
二次電子分解能 1.0nm (加速電圧15kV、WD=4mm)*1
1.3nm (照射電圧1kV、WD=1.5mm)*1
照射電圧 0.1~30kV
低倍率モード 20~2,000倍(写真倍率)*2
80~5,000倍(実表示倍率)*3
高倍率モード 100~800,000倍(写真倍率)*2
400~2,000,000倍(実表示倍率)*3
試料ステージ
ステージ制御 3軸モータ駆動
5軸モータ駆動(オプション)
可動範囲X 0~50mm
Y 0~50mm
R 360°
T -5~70°
Z 1.5~30mm
最大試料サイズ 100mm径(最大)
150mm径(オプション)
二次電子検出系 Lower / Upper 検出器
  SE/BSE信号可変方式(Upper)
*1:
自社試料のSEM像から最小の粒子間Gapを測定
*2:
127mm×95mm(4×5写真サイズ)を表示サイズとして倍率を規定
*3:
345mm×259mm(1,280×960画素表示)を表示サイズとして倍率を規定

Topics

Scientific Instrument NEWS SI NEWSとは

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