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Hitachi

株式会社 日立ハイテクノロジーズ

低加速電圧での観察と分析を融合したSU8200 Series

新開発のコールドFE電子銃は、電子源にガス分子が付着する前の高輝度安定領域を利用することで、高輝度で長時間安定したエミッション電流を実現しています。これにより、低加速電圧条件下でも大きなプローブ電流が得られ、明るく、S/Nに優れた画像を提供し、安定性と信頼性のある画像観察を可能にしています。

また観察性能については、ステージと試料室の耐振性向上と光学系の最適化により、加速電圧(15 kV)分解能を1.0nm(従来機種「SU8000」シリーズ)から0.8nmへと約20%向上し、照射電圧(1kV)の分解能においても1.3nmから1.1nmに、約15%向上しました。

価格:お問い合わせください

取扱会社:株式会社 日立ハイテクノロジーズ

特長

  • 新開発のコールドFE電子銃を搭載
  • フラッシング直後の高輝度安定領域を使用することによる低加速電圧での高分解能観察と分析の両立
  • 大幅に向上した分解能(1.1nm/1kV、0.8nm/15kV)
  • コンタミネーションの影響を軽減させた高真空試料室
  • Topフィルター機能(オプション)による、さまざまな材料コントラストの可視化機能

仕様

項目SU8220SU8230SU8240
二次電子分解能*1 0.8nm (加速電圧15kV、WD=4mm、倍率270kx)
1.1nm (照射電圧1kV、WD=1.5mm、倍率200kx)*2
照射電圧 0.01~30kV
倍率 20~1,000,000倍*3
ステージ制御 5軸モーター駆動 5軸モーター駆動 5軸モーター駆動
Regulus®ステージ*4
可動範囲X 0~50mm 0~110mm 0~110mm
Y 0~50mm 0~110mm 0~80mm
R 360°
Z 1.5~30mm 1.5~40mm 1.5~40mm
T -5~70°
ステージ再現性 - - ±0.5µm以下
*1:
自社試料のSEM像から最小の粒子間Gapを測定
*2:
リターディングモードによる観察
*3:
127mm×95mmを表示サイズとして倍率を規定
*4:
Regulus®(REGULated Ultra Stable:日立ハイテク製高性能ステージ)は、株式会社 日立ハイテクノロジーズの日本における登録商標です

観察例

高分解能観察

低加速高分解能観察にもっとも適したコールドFE電子銃を採用。常に高輝度安定状態で高分解能観察できます。

試料:メソポーラスシリカ
観察条件:500 V、500,000倍、200,000倍
試料ご提供:東京工業大学 資源環境研究所 横井 俊之助教

高空間分解能分析

SU8200シリーズは、高いプローブ電流で低加速電圧でも高空間分解能EDX分析を実現できます。

試料:立方体Au/Cu2O コアシェルナノ粒子
EDX分析条件:5 kV、0.7 nA、15分、150,000倍
試料ご提供:京都大学 化学研究所 寺西 利治教授

Topics

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    「戦後イノベーション100選」は、公益社団法人発明協会が創立110周年を迎えたことを記念し、戦後日本で成長を遂げ、産業経済の発展に大きく寄与したイノベーションを選定したものです。
    日立ハイテクの「電界放出形電子顕微鏡」は、7月8日に行われた第一回発表において、戦後復興期から高度経済成長期までの38件のイノベーションの一つとして選定されました。
    日立ハイテクは、今回の「戦後日本のイノベーション100選」に選定された電界放出形電子顕微鏡をはじめ、今後も優れた技術・製品の開発を通じて、安心・安全で快適な社会の実現および世界の産業の発展に貢献していきます。
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