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Hitachi

株式会社 日立ハイテクノロジーズ

超音波映像装置FineSATは、半導体パッケージ、電子部品、セラミック・金属・樹脂部品などの内部ボイド、クラック、剥離などの欠陥を、超音波を使って非破壊で映像化する装置です。X線装置、赤外線検査装置、光学顕微鏡では検出できないナノメーターレベルの隙間も検出することができます。

特長

  • 最高周波数500MHzの高感度超音波ユニットと、最小ピッチ0.5μmの高精度スキャナを組み合わせ、高分解能・高解像度で微小欠陥を検出します。
  • オリジナル画像処理ユニットと最大走査速度1,000mm/sの高速スキャナで、短時間に画像表示します。
  • 反射法と透過法の同時測定、最大64個まで設定できるマルチゲートと各ゲート内データおよび測定条件   の一括保存、欠陥面積や良否判定など、測定支援と解析ソフトが充実しています。

CSPのアンダーフィル層
CSPのアンダーフィル層

IGBTの接着界面
IGBTの接着界面

張り合わせウェーハ
張り合わせウェーハ

  • 反射法用として低周波から高周波まで、短焦点距離から長焦点距離まで、プローブを豊富に取り揃えております。加えて透過法プローブも取りそろえておりますので、お客さまの用途に適したプローブが見つかります。

高分解能型プローブ
高分解能型プローブ

透過法プローブ
透過法プローブ

 

標準仕様

標準仕様
 FS100 IIIFS200 IIIFS300 III
対応プローブ周波数(MHz)*1 5~75 5~140 5~300
有効走査範囲(mm) 350×350*2
プローブ高さストローク(mm) 80
最小走査ピッチ(mm) 0.5
最大走査速度(mm/s) 1,000
外形寸法(mm) 1,590×1,340×940
質量(kg) 約380
電源仕様*3 AC100V/15A 50/60Hz
*1
5MHz未満のプローブについてはお問い合わせください。
*2
これ以上の走査範囲についても対応可能ですのでお問い合わせ下さい。
*3
海外向けの場合は、これ以外の仕様も可能です。
  • 本製品は超音波の出力が5W以下のため、設置届出等の必要はありません。
  • 英語の言語版によるソフトウェアもご用意しています。

概要図

オプション

高精細測定であるシングルスキャン方式のFineSATに電子スキャン方式のES5100を一体化し、アレイプローブを併用することで、高速検査機能を追加したハイブリッドの装置です。

超音波映像装置 FineSAT Hybrid
超音波映像装置 FineSAT Hybrid

シングルプローブ(左)とアレイプローブ(右)の同時装着例
シングルプローブ(左)とアレイプローブ(右)の
同時装着例

オプション
 FS100IIIHyFS200IIIHyFS300IIIHy
シングルプローブ周波数範囲(MHz) 5~75 5~140 5~300
アレイプローブ 周波数(MHz) 25 , 50 , 75
アレイプローブ素子数 25,50MHz : 128  75MHz : 192
アレイプローブ最大同時駆動励振数 16
マルチゲート数 シングルプローブ : 64 アレイプローブ : 2
有効ストローク(X×Y×Z)(mm) シングル/アレイプローブ単独装着時 350×350×80
シングル・アレイプローブ併用装着時 295×350×80
外形寸法 (W×H×D)(mm) 2,000×1,340×940
質量(kg) 約450
電源仕様 AC100V/15A/ 50/60Hz