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Hitachi

株式会社 日立ハイテクノロジーズ

電子スキャン(=フェーズドアレイ方式)で最大周波数75MHzを実現した超音波映像装置です。

取扱会社:株式会社 日立ハイテクノロジーズ

特長

高速測定

電子スキャンアレイプローブの採用により、高速測定を実現。評価・解析作業の効率が飛躍的に向上します。
例)30mm角のICパッケージを0.1mmピッチで探傷した場合、約4秒で終了します。

インライン全数検査への適用

圧倒的な高速性により、これまで困難であった量産時の全数検査が可能になりました。
ローダー、アンローダーといったハンドリンク機構を構築することで、インラインでの導入も可能です。
また、検査体を個別ID化して探傷データを収録・保存することで、不合格品(NG品)の傾向、生産ロットごとの割合、その他統計処理により解析・評価方法が広がり、品質改善を支援します。

電子スキャン方式ならではの使いやすさ

Aスコープと同時にBスコープ(断面図)がリアルタイムで見られるので、手間のかかる測定準備(キャリブレーション)作業が格段に容易になります。

マルチゲート機能

電子制御により超音波の焦点および観察深さを順次移動させ、平面画像を高速にサムネイル表示できます。

システム構成と主な仕様